TOFCO东富科流量测量歧管（阀门）‌ 是一种将‌流量计与流体控制阀集成于模块化歧管系统‌中的高集成度流体控制解决方案，广泛应用于半导体、光伏、精细化工等对洁净度、耐腐蚀性和系统紧凑性要求极高的自动化产线。

该系统通过预组装的‌不锈钢歧管块‌与多种功能单元（如流量计、控制阀、开关阀、传感器接口等）自由组合，实现多通道流体的集中监测与**调控，显著减少管道连接点，降低泄漏风险并提升系统可靠性。

其核心特性如下：

• ‌集成化设计‌：支持将‌电动比例控制阀、流量控制阀、流量开关‌等与面积式或涡街式流量计共同安装于同一歧管平台，形成完整的“测量+控制”单元；
• ‌阀门类型多样‌：
  • ‌电动比例控制阀‌：采用高性能A/D转换器，实现‌高精度、高分辨率‌的流量调节，标准为禁油规格，适用于高纯介质；
  • ‌流量控制阀‌：响应速度快，支持4-20mA或HART信号输入，可接入PLC实现闭环控制；
  • ‌手动/气动开关阀‌：用于通断控制，结构紧凑，密封性好；
• ‌材质可靠‌：主体为‌316L不锈钢‌，密封件采用‌FKM氟橡胶‌或‌PCTFE/PTFE‌，耐强酸、强碱及有机溶剂，适用于高纯水、化学品、腐蚀性气体等介质；
• ‌连接灵活‌：支持‌Rc螺纹、NPT螺纹或法兰连接‌，适配DN6至DN50多种管径，安装方向需垂直，介质自下而上流动；
• ‌应用广泛‌：常用于半导体湿法清洗、刻蚀工序中的化学品加注控制，光伏制绒线酸碱循环系统的流量调节，以及实验室高纯气体输送系统的集成管理。

例如，‌TPS25/32系列歧管‌可搭配‌TPR25-R涡轮流量计‌与‌电动比例控制阀‌，构建全自动流量控制系统，满足中大流量场景下的精准调控需求。