Tokyo Keiso 东京计装质量流量控制器 MODEL ST-550 SERIES‌ 是一款专为‌高精度气体微流量控制‌设计的热式质量流量控制设备，适用于对流量稳定性与响应速度要求严苛的工业场景。

核心功能与技术特点：

• ‌高精度测量与控制‌：采用‌热式传感技术‌，直接测量气体质量流量，控制精度达 ‌±1.5% F.S.‌，重复性为 ‌±0.7% F.S.‌，适用于精密工艺过程。
• ‌微小流量适用‌：专为‌低流量工况‌优化设计，*小可测流量低至 ‌0.1 sccm（N₂当量）‌，满足半导体、实验室分析等微量气体控制需求。

• ‌快速动态响应‌：响应时间小于 ‌1.2秒‌，支持快速启停与流量调节，适用于脉冲供气或周期性工艺。
• • 宽量程比‌：量程比可达 ‌100:1‌，在不同工作模式下实现稳定控制，减少设备更换频率。
  • ‌多气体支持‌：内置多种标准气体校准曲线（如Air、N₂、O₂、Ar、CO₂等），用户可自定义非标气体参数，提升应用灵活性。
  • ‌数字接口配置‌：标配 ‌RS-485 Modbus RTU‌ 通信协议，支持远程监控与系统集成；可选 ‌0–5/10 V‌ 或 ‌4–20 mA‌ 模拟信号输出。
  • ‌本地操作界面‌：配备LCD显示屏与按键，支持现场参数设定、实时流量显示及报警状态提示，便于调试与维护。
  • ‌结构材质‌：主体采用‌SUS316L不锈钢‌，密封件为全氟橡胶（FFKM），具备优良的耐腐蚀性；防护等级达 ‌IP65‌，适应复杂工业环境。

  典型应用领域：

  • ‌半导体制造‌：用于MOCVD、刻蚀、离子注入等工艺中的工艺气体**供给，保障晶圆批次一致性。
  • ‌生物医疗‌：在呼吸机、麻醉机、细胞培养设备中实现氧气与混合气体的精准配比控制。
  • ‌环境监测‌：应用于气体分析仪、VOC检测系统中的载气或标气流量管理。
  • ‌新能源研发‌：在燃料电池测试平台中控制氢气与空气流量，提升反应效率与**性。

  安装与使用建议：

  • 建议在控制器前加装‌精密过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器通道；
  • 安装位置应避免强振动与电磁干扰，推荐水平安装以确保测量稳定性；
  • 需配合‌稳压气源‌使用，入口压力波动应控制在±5%以内；
  • 支持通过上位机软件进行批量参数设置与固件升级，提升运维效率。