Tokyo Keiso 东京计装数字质量流量控制器 EX-201SC-RJ SERIES‌ 是一款‌小型化、高精度的数字式气体质量流量控制器‌，专为紧凑空间安装与高响应控制需求设计，广泛应用于半导体、生物发酵、医疗设备及实验室自动化等领域。

核心功能与技术特点：

• ‌数字式控制架构‌：采用‌RS-485 Modbus RTU‌ 通信协议，支持通过RJ45接口使用标准网线串联多台设备，实现集中监控与系统集成，布线更简洁。
• ‌超小体积设计‌：整机尺寸仅为 ‌76×30×80 mm‌，便于在空间受限的设备中密集安装，特别适合多通道气体控制系统。

• ‌高精度与快速响应‌：控制精度达 ‌±1.0% SP（>35%FS）或 0.35% FS（≤35%FS）‌，响应时间 ‌＜1秒‌，满足动态工艺对实时调节的需求。
• • 多气体切换支持‌：预设 ‌N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄‌ 等多种标准气体校准曲线，用户可通过软件快速切换，无需重新标定。
  • ‌量程灵活可调‌：支持在 ‌满量程的30%~100%范围内修改量程‌，适应不同工况下的流量调节需求，提升设备复用率。
  • ‌双接口配置‌：配备 ‌D-sub 9针接口‌ 和 ‌RJ-45 模块化插孔×2‌，分别用于模拟信号（0–5V/4–20mA）输出与数字通信，兼容性强。
  • ‌电源适配灵活‌：支持 ‌DC24V‌ 供电，适用于工业现场通用电源环境。

  典型应用领域：

  • ‌半导体制造‌：用于MOCVD、刻蚀等工艺中的高纯气体**供给，保障工艺重复性。
  • ‌生物与制药‌：在细胞培养、发酵罐中实现O₂/CO₂流量精准控制，满足GMP要求。
  • ‌分析仪器‌：作为气相色谱、质谱仪的载气控制系统核心部件，确保检测稳定性。
  • ‌燃料电池测试‌：用于氢气与空气流量的动态配比控制，提升反应效率。
  • ‌食品与包装‌：在气调包装中**控制N₂/CO₂混合比例，延长保质期。