Tokyo Keiso 东京计装**质量流量控制器 MODEL 3200 SERIES‌ 是一款‌高精度、高速响应的热式气体质量流量控制器‌，专为半导体、精密制造与科研等高要求工业场景设计，具备**的稳定性与多气体适应能力。

核心技术特点：

• ‌高精度测量控制‌：在N₂校准条件下，‌精度达 ±1.0% F.S.（15–35℃）‌，重复性高达 ‌±0.2% F.S.‌，确保工艺一致性。
• ‌宽流量控制范围‌：支持 ‌1 SCCM – 20 SLM‌ 的流量范围（依型号配置），*小可控制至 ‌1 SCCM 全量程‌（SR选项），满足微量气体精准供给需求。
• ‌快速动态响应‌：响应时间 ‌≤1秒（0–100%）‌，典型误差控制在 ‌±2%以内‌，适用于需要快速调节的动态工艺过程。
• ‌热式质量流量传感技术‌：基于热扩散原理直接测量质量流量，‌无需温度与压力补偿‌，输出稳定不受环境波动影响。
• ‌多气体切换功能（CF Switching）‌：内置多种气体校准曲线，支持 ‌N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄ 等常见气体‌一键切换，适配复杂工艺需求。
• ‌低功耗与紧凑设计‌：采用 ‌D-sub 9针 male 接口‌，供电为 ‌+15VDC/100mA，-15VDC/200mA‌，整机结构紧凑，便于系统集成。
• ‌阀体材质与密封性‌：主体为 ‌SUS316L 不锈钢‌，隔膜为 ‌SUS316‌，阀座为 ‌PTFE‌，密封件为 ‌FKM（可选CR或NBR）‌，具备良好耐腐蚀性与长寿命特性。
• ‌连接方式灵活‌：标准接口为 ‌1/4" F900‌，可选 ‌1/8" SWL、1/4" VCR、Rc1/4‌ 等，适配多种管路系统。

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：用于MOCVD、刻蚀、离子注入等工艺中的高纯气体**控制，保障薄膜均匀性与良率。
• ‌分析仪器‌：作为气相色谱、质谱仪的载气控制系统核心，确保检测重复性。
• ‌生物与制药‌：在细胞培养、发酵过程中实现O₂/CO₂流量精准调控。
• ‌燃料电池测试平台‌：用于氢气与空气的动态配比控制，提升反应效率。
• ‌真空系统与科研装置‌：在高真空环境下实现微量气体稳定供给。

安装与使用建议：

• 建议在‌进气端加装0.5 μm精度过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器；
• 推荐水平安装并避免振动，以保证测量稳定性；
• 控制器工作温度范围为 ‌0–50℃‌，需避免高温或结露环境；
• 长期运行建议定期执行‌零点校准‌，特别是在更换气体或长时间停机后；
• 仅适用于‌洁净、干燥气体介质‌，不适用于液体或高粉尘气体。