Tokyo Keiso 东京计装数字质量流量控制器 MODEL EX-250S SERIES‌ 是一款‌高响应性、数字化控制的热式气体质量流量控制器‌，专为工业自动化、半导体制造与精密测试系统设计，具备‌精准控制、多气体兼容与强抗干扰能力‌。

核心技术特点：

• ‌高精度流量控制‌：在N₂校准条件下，‌精度达 ±1.0% F.S.（0–50℃）‌，重复性 ‌±0.2% F.S.‌，确保工艺稳定性。
• ‌宽量程比与快速响应‌：支持 ‌1:100 量程比‌，*小可控制至 ‌1 SCCM‌；响应时间 ‌≤1秒（0–100%）‌，适用于动态调节场景。
• ‌热式质量流量传感技术‌：基于热扩散原理直接测量质量流量，‌无需温度与压力补偿‌，输出稳定不受环境波动影响。
• ‌多气体切换功能（CF Switching）‌：内置 ‌N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄‌ 等多种气体校准曲线，用户可一键切换，适配复杂工艺需求。
• ‌数字通信与输出接口‌：
  • 标配 ‌RS-485（Modbus RTU）‌，支持远程参数设置与状态监控；
  • 可选 ‌4–20 mA / 0–5 VDC 模拟输出‌，兼容主流PLC与控制系统；
  • 提供 ‌报警输出（ALM）‌ 信号，用于异常流量预警。
• ‌紧凑结构与高防护设计‌：采用 ‌D-sub 9针 male 接口‌，供电为 ‌±15VDC‌，整机结构紧凑，便于系统集成；外壳防护等级达 ‌IP65‌，适应工业现场环境。
• ‌阀体材质与密封性‌：主体为 ‌SUS316L 不锈钢‌，隔膜为 ‌SUS316‌，阀座为 ‌PTFE‌，密封件为 ‌FKM（可选CR或NBR）‌，具备优异耐腐蚀性与长寿命特性。
• ‌连接方式灵活‌：标准接口为 ‌1/4" F900‌，可选 ‌1/8" SWL、1/4" VCR、Rc1/4‌ 等，适配多种管路系统。

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：用于MOCVD、刻蚀、CVD等工艺中的高纯气体**供给，保障薄膜均匀性。
• ‌分析仪器‌：作为气相色谱、质谱仪的载气控制系统核心，确保检测重复性。
• ‌生物与制药‌：在细胞培养、发酵过程中实现O₂/CO₂流量精准调控。
• ‌燃料电池测试平台‌：用于氢气与空气的动态配比控制，提升反应效率。
• ‌真空系统与科研装置‌：在高真空环境下实现微量气体稳定供给。

安装与使用建议：

• 建议在‌进气端加装0.5 μm精度过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器；
• 推荐水平安装并避免振动，以保证测量稳定性；
• 控制器工作温度范围为 ‌0–50℃‌，需避免高温或结露环境；
• 长期运行建议定期执行‌零点校准‌，特别是在更换气体或长时间停机后；
• 仅适用于‌洁净、干燥气体介质‌，不适用于液体或高粉尘气体。

⚠️ 注意：该设备‌不适用于含H₂或He浓度在10–90%之间的混合气体‌，可能影响测量准确性。