Tokyo Keiso 东京计装金属密封质量流量计 MODEL 5410 SERIES‌ 并非东京计装（Tokyo Keiso）产品，而是由‌日本KOFLOC（小岛）公司‌生产的高可靠性气体质量流量计，主打‌金属密封结构与耐高压特性‌，适用于工业现场中对**性与稳定性要求较高的气体测量场景。

核心技术特点：

• ‌金属密封设计‌：采用全金属密封结构（如金属垫片、不锈钢接头），确保在‌高压、高温或振动环境‌下无泄漏，适用于N₂、Ar、O₂等洁净气体的**测量。
• ‌测量原理‌：基于‌热式质量流量传感技术‌，直接测量气体质量流量，‌无需温度与压力补偿‌，输出稳定且响应迅速。

• ‌宽量程比与高精度‌：支持宽范围流量测量，典型精度为 ‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌，重复性达 ‌±0.5% F.S.‌，适合需要长期稳定运行的工业系统。
• • 耐压性能强‌：*大耐压可达 ‌4.0 MPa‌，推荐工作压力 ≤3.0 MPa，适用于高压供气系统中的流量监控。
  • ‌信号输出灵活‌：提供 ‌4–20mA 或 0–5V 模拟输出‌，兼容主流PLC、DCS控制系统，便于集成至自动化平台。
  • ‌供电与接口‌：采用 ‌±15 VDC 或 24 VDC 供电‌，通过标准电缆连接，接线清晰、抗干扰能力强。
  • ‌材质与防护‌：
    • 本体材质为 ‌SUS316L不锈钢‌，具备优异耐腐蚀性；
    • 可选配不同密封材料（如金属C形环、铜垫片），适配高纯气体或特殊工况需求；
    • 防护等级达 ‌IP65‌，适用于工业现场恶劣环境。

  典型应用领域：

  • ‌半导体与电子制造‌：用于CVD、PVD、刻蚀等工艺中的高纯气体流量监测。
  • ‌能源与化工‌：在氢气、天然气、合成气等高压气体输送系统中实现精准计量。
  • ‌实验室与测试平台‌：作为标准流量监测单元，用于校准或数据采集。
  • ‌OEM设备集成‌：嵌入式用于气体分析仪、燃料电池测试系统等精密装置中。

  安装与使用建议：

  • 建议在‌进气端加装0.5μm精密过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器毛细管；
  • 推荐‌水平安装‌，避免冷凝液积聚影响测量；
  • 工作环境温度控制在 ‌5–45°C‌，避免结露或剧烈温变；
  • 长期停用后重新启用时，建议执行‌零点校准‌；
  • 仅适用于‌洁净、干燥气体介质‌，禁止用于含油、高湿或腐蚀性气体。