Tokyo Keiso 东京计装**质量流量计 MODEL 3100 SERIES‌ 是由日本TOKYO KEISO（东京计装）公司推出的一款高精度、智能化的‌热式气体质量流量计‌，专为工业过程控制与精密气体测量场景设计，具备出色的稳定性、重复性与环境适应能力。

核心技术参数：

• ‌测量原理‌：采用‌热扩散法（Thermal Dispersion）‌，通过加热元件与温度感应元件之间的热量差直接测量气体质量流量，‌无需额外温压补偿‌，输出信号真实反映质量流量（单位：kg/h 或 Nm³/h）。
• ‌流量范围‌：支持 ‌1 SCCM ~ 20 SLM（N₂当量）‌，量程比高达 ‌1:2000‌，适用于微小流量与中等流量的精准监控。
• ‌精度与重复性‌：
  • 测量精度：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
  • 重复性：‌±0.2% F.S.‌，确保长期运行数据一致
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），满足快速控制需求
• ‌输出信号‌：
  • 标准模拟输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌，便于接入PLC或SCADA系统
• ‌供电电源‌：‌24 VDC ±10%‌，功耗低至150mA，适合工业现场集成
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–50°C‌
  • 环境温度：‌0–40°C‌
  • *大工作压力：‌300 kPa（3 bar）‌
  • 允许压降：‌≤50 kPa‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316L不锈钢‌，具备优异的耐腐蚀性与机械强度，适用于洁净气体、压缩空气、氮气、氩气等多种工业气体。
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌PTFE 或 NBR‌，适配不同化学兼容性需求。
• ‌连接方式‌：支持多种接口选项，包括 ‌1/4" VCR、1/4" Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等，便于在半导体、制药、食品等高要求系统中安装。
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合恶劣工业环境使用。

智能化功能亮点：

• ‌内置温度补偿算法‌：自动校正环境温度变化对测量的影响，提升长期稳定性。
• ‌零点自动校准功能‌：支持一键清零，减少维护频率。
• ‌双向流量检测‌：可识别正向与反向流动，适用于回路监测场景。
• ‌LCD现场显示模块（可选）‌：实时显示瞬时流量、累计流量、报警状态等信息，便于本地调试与监控。

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：用于CVD、PVD、刻蚀等工艺中的特种气体**控制
• ‌生物制药‌：在发酵罐、细胞培养系统中实现无菌气体流量监测
• ‌环保与气体分析‌：烟气排放监测、VOCs采样系统中的标准流量计量
• ‌新能源产业‌：氢气、天然气等清洁能源的加注与输配过程控制
• ‌实验室研究‌：气体反应动力学实验、微流控系统中的高精度流量传感

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌（D为管道直径），避免涡流干扰
• 进气端应加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞毛细管
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 出厂以 ‌N₂ 标定‌，若用于其他气体（如H₂、O₂、CO₂等），需通过‌气体校正因子（GCF）‌ 进行换算以保证精度