Tokyo keiso​东京计装**质量流量计
产品型号:MODEL 3100 SERIES
产品品牌:Tokyo keiso​东京计装
产品介绍:

Tokyo Keiso 东京计装**质量流量计 MODEL 3100 SERIES‌ 是由日本TOKYO KEISO(东京计装)公司推出的一款高精度、智能化的‌热式气体质量流量计‌,专为工业过程控制与精密气体测量场景设计,具备出色的稳定性、重复性与环境适应能力。

详细介绍

Tokyo Keiso 东京计装**质量流量计 MODEL 3100 SERIES‌ 是由日本TOKYO KEISO(东京计装)公司推出的一款高精度、智能化的‌热式气体质量流量计‌,专为工业过程控制与精密气体测量场景设计,具备出色的稳定性、重复性与环境适应能力。

核心技术参数:

  • 测量原理‌:采用‌热扩散法(Thermal Dispersion)‌,通过加热元件与温度感应元件之间的热量差直接测量气体质量流量,‌无需额外温压补偿‌,输出信号真实反映质量流量(单位:kg/h 或 Nm³/h)。
  • 流量范围‌:支持 ‌1 SCCM ~ 20 SLM(N₂当量)‌,量程比高达 ‌1:2000‌,适用于微小流量与中等流量的精准监控。
  • 精度与重复性‌:
    • 测量精度:‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程
    • 重复性:‌±0.2% F.S.‌,确保长期运行数据一致
  • 响应时间‌:‌≤1秒‌(达到90%响应),满足快速控制需求
  • 输出信号‌:
    • 标准模拟输出:‌0–5 VDC 或 4–20 mA
    • 可选数字通信:‌RS-485 Modbus RTU‌,便于接入PLC或SCADA系统
  • 供电电源‌:‌24 VDC ±10%‌,功耗低至150mA,适合工业现场集成
  • 工作条件‌:
    • 气体温度:‌5–50°C
    • 环境温度:‌0–40°C
    • *大工作压力:‌300 kPa(3 bar)
    • 允许压降:‌≤50 kPa

结构与材质特性:

  • 本体材质‌:‌SUS316L不锈钢‌,具备优异的耐腐蚀性与机械强度,适用于洁净气体、压缩空气、氮气、氩气等多种工业气体。
  • 密封材料‌:标准配置为 ‌FKM(Viton)‌,可选 ‌PTFE 或 NBR‌,适配不同化学兼容性需求。
  • 连接方式‌:支持多种接口选项,包括 ‌1/4" VCR、1/4" Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等,便于在半导体、制药、食品等高要求系统中安装。
  • 防护等级‌:‌IP65‌,防尘防水,适合恶劣工业环境使用。

智能化功能亮点:

  • 内置温度补偿算法‌:自动校正环境温度变化对测量的影响,提升长期稳定性。
  • 零点自动校准功能‌:支持一键清零,减少维护频率。
  • 双向流量检测‌:可识别正向与反向流动,适用于回路监测场景。
  • LCD现场显示模块(可选)‌:实时显示瞬时流量、累计流量、报警状态等信息,便于本地调试与监控。

典型应用领域:

  • 半导体制造‌:用于CVD、PVD、刻蚀等工艺中的特种气体**控制
  • 生物制药‌:在发酵罐、细胞培养系统中实现无菌气体流量监测
  • 环保与气体分析‌:烟气排放监测、VOCs采样系统中的标准流量计量
  • 新能源产业‌:氢气、天然气等清洁能源的加注与输配过程控制
  • 实验室研究‌:气体反应动力学实验、微流控系统中的高精度流量传感

安装与使用建议:

  • 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌(D为管道直径),避免涡流干扰
  • 进气端应加装‌0.5 μm级过滤器‌,防止颗粒物堵塞毛细管
  • 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
  • 出厂以 ‌N₂ 标定‌,若用于其他气体(如H₂、O₂、CO₂等),需通过‌气体校正因子(GCF)‌ 进行换算以保证精度