Tokyo Keiso 东京计装标准质量流量计 MODEL 3760 SERIES‌ 是由日本TOKYO KEISO（东京计装）公司推出的一款‌高精度、紧凑型气体质量流量计‌，广泛应用于科研、半导体、化工及真空设备等领域，具备出色的稳定性与快速响应能力。

核心技术参数：

• ‌测量原理‌：采用‌恒温差式热式质量流量检测技术‌，通过监测加热元件与感温元件之间的热量变化，直接测量气体质量流量，无需额外温压补偿。
• ‌流量范围‌：支持 ‌1–1000 SCCM 至 1–20 L/min（N₂当量）‌，量程比高达 ‌1:1000‌，适用于微小流量与中等流量的**控制。
• ‌精度与重复性‌：
  • 测量精度：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
  • 重复性：‌±0.5% F.S.‌，确保长期运行数据一致
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），满足动态过程控制需求
• ‌输出信号‌：
  • 标准模拟输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源供电设计提升信号稳定性
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–45°C‌
  • 环境温度：‌5–45°C‌
  • *大工作压力：‌980 kPaG（约10 bar）‌
  • 允许压降：‌≤50 kPa‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，耐腐蚀性强，适用于多种工业气体
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌CR（氯丁橡胶）或 NBR‌，适配不同化学兼容性需求
• ‌电气连接‌：‌D-sub 9针连接器‌，符合KFC与SEMI标准，便于系统集成
• ‌防护等级‌：IP65，适合工业现场使用

智能化功能亮点：

• ‌内置温度补偿算法‌：自动校正环境温度波动对测量的影响
• ‌零点校准功能‌：支持现场清零，减少维护成本
• ‌双向流量检测‌：可识别正向与反向流动，适用于回路监测
• ‌LCD显示模块（可选）‌：实时显示瞬时流量、累计流量及报警状态

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：用于CVD、PVD、刻蚀等工艺中的特种气体**控制
• ‌实验室研究‌：气体反应动力学实验、微流控系统中的高精度传感
• ‌分析仪器‌：气相色谱、质谱仪等设备的载气流量监控
• ‌真空设备‌：真空镀膜、离子注入系统的气体供给控制
• ‌生物制药‌：发酵罐、细胞培养系统中的无菌气体流量监测

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 进气端应加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞毛细管
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 出厂以 ‌N₂ 标定‌，若用于其他气体（如H₂、O₂、CO₂等），需通过‌气体校正因子（GCF）‌ 进行换算以保证精度