Tokyo keiso​东京计装标准质量流量计
产品型号:MODEL 3760 SERIES
产品品牌:Tokyo keiso​东京计装
产品介绍:

Tokyo Keiso 东京计装标准质量流量计 MODEL 3760 SERIES‌ 是由日本TOKYO KEISO(东京计装)公司推出的一款‌高精度、紧凑型气体质量流量计‌,广泛应用于科研、半导体、化工及真空设备等领域,具备出色的稳定性与快速响应能力。 核心技术参数: ‌测量原理‌:采用‌恒温差式热式质量流量检测技术‌,通过监测加热元件与感温元件之间的热量变化,直接测量气体质量流量,无需额外温压补偿。 ‌流量范围‌:支持 ‌1–1000 SCCM 至 1–20 L/min(N₂当量)‌,量程比高达 ‌1:1000‌,适用于微小流量与中等流量的**控制。

详细介绍

Tokyo Keiso 东京计装标准质量流量计 MODEL 3760 SERIES‌ 是由日本TOKYO KEISO(东京计装)公司推出的一款‌高精度、紧凑型气体质量流量计‌,广泛应用于科研、半导体、化工及真空设备等领域,具备出色的稳定性与快速响应能力。

核心技术参数:

  • 测量原理‌:采用‌恒温差式热式质量流量检测技术‌,通过监测加热元件与感温元件之间的热量变化,直接测量气体质量流量,无需额外温压补偿。
  • 流量范围‌:支持 ‌1–1000 SCCM 至 1–20 L/min(N₂当量)‌,量程比高达 ‌1:1000‌,适用于微小流量与中等流量的**控制。
  • 精度与重复性‌:
    • 测量精度:‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程
    • 重复性:‌±0.5% F.S.‌,确保长期运行数据一致
  • 响应时间‌:‌≤1秒‌(达到90%响应),满足动态过程控制需求
  • 输出信号‌:
    • 标准模拟输出:‌0–5 VDC 或 4–20 mA
    • 可选数字通信:‌RS-485 Modbus RTU
  • 供电电源‌:‌+15VDC (±5%) 100mA,-15VDC (±5%) 100mA‌,双电源供电设计提升信号稳定性
  • 工作条件‌:
    • 气体温度:‌5–45°C
    • 环境温度:‌5–45°C
    • *大工作压力:‌980 kPaG(约10 bar)
    • 允许压降:‌≤50 kPa

结构与材质特性:

  • 本体材质‌:‌SUS316不锈钢‌,耐腐蚀性强,适用于多种工业气体
  • 密封材料‌:标准配置为 ‌FKM(Viton)‌,可选 ‌CR(氯丁橡胶)或 NBR‌,适配不同化学兼容性需求
  • 电气连接‌:‌D-sub 9针连接器‌,符合KFC与SEMI标准,便于系统集成
  • 防护等级‌:IP65,适合工业现场使用

智能化功能亮点:

  • 内置温度补偿算法‌:自动校正环境温度波动对测量的影响
  • 零点校准功能‌:支持现场清零,减少维护成本
  • 双向流量检测‌:可识别正向与反向流动,适用于回路监测
  • LCD显示模块(可选)‌:实时显示瞬时流量、累计流量及报警状态

典型应用领域:

  • 半导体制造‌:用于CVD、PVD、刻蚀等工艺中的特种气体**控制
  • 实验室研究‌:气体反应动力学实验、微流控系统中的高精度传感
  • 分析仪器‌:气相色谱、质谱仪等设备的载气流量监控
  • 真空设备‌:真空镀膜、离子注入系统的气体供给控制
  • 生物制药‌:发酵罐、细胞培养系统中的无菌气体流量监测

安装与使用建议:

  • 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌,避免涡流干扰
  • 进气端应加装‌0.5 μm级过滤器‌,防止颗粒物堵塞毛细管
  • 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
  • 出厂以 ‌N₂ 标定‌,若用于其他气体(如H₂、O₂、CO₂等),需通过‌气体校正因子(GCF)‌ 进行换算以保证精度