Tokyo Keiso 东京计装标准质量流量控制器 MODEL 3660 SERIES‌ 是由日本TOKYO KEISO（东京计装）公司推出的一款‌高精度气体质量流量控制设备‌，集‌流量测量与自动调节功能于一体‌，广泛应用于半导体制造、实验室研究、分析仪器及工业过程控制等对气体流量稳定性要求极高的场景。

核心技术参数：

• ‌控制原理‌：采用‌恒温差式热式质量流量传感技术 + PID闭环控制阀‌，实时检测并动态调节气体流量，确保输出稳定。
• ‌流量范围‌：支持 ‌1–100 SCCM 至 1–10 L/min（N₂当量）‌，量程比高达 ‌1:1000‌，满足微小流量精准控制需求。
• ‌控制精度‌：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
• ‌重复性‌：‌±0.5% F.S.‌，保障长期运行一致性
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），适用于快速动态调节
• ‌输出信号‌：
  • 测量信号：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选通信接口：‌RS-485 Modbus RTU‌
• ‌控制输入‌：接受 ‌0–5 VDC 或 0–10 VDC‌ 模拟设定信号，实现远程流量设定
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源供电设计提升系统稳定性
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–45°C‌
  • 环境温度：‌5–45°C‌
  • *大工作压力：‌980 kPaG（约10 bar）‌
  • 允许压降：‌≤50 kPa‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，具备优异耐腐蚀性，适用于多种工业气体（如N₂、O₂、Ar、H₂等）
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌CR 或 NBR‌，适配不同化学兼容性需求
• ‌连接方式‌：支持 ‌1/4" VCR、1/4" Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等高密封性接口，适用于洁净系统
• ‌电气接口‌：‌D-sub 9针连接器‌，符合KFC与SEMI标准，便于系统集成
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用

智能化功能亮点：

• ‌内置PID控制器‌：无需外接控制器即可实现闭环流量调节，简化系统架构
• ‌零点自动校准功能‌：支持一键清零，减少漂移影响
• ‌双向流量控制能力‌（可选）：可实现正向供气与反向抽气的双向调节，适用于特殊工艺回路
• ‌LCD现场显示模块（可选）‌：实时显示设定流量、实际流量、累计流量及报警状态，便于本地调试
• ‌气体校正因子（GCF）设置‌：出厂以 ‌N₂ 标定‌，可通过参数设置适配H₂、O₂、CO₂、CH₄等多种气体，保证测量精度

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：CVD、PVD、刻蚀、离子注入等工艺中的特种气体**供给
• ‌实验室研究‌：微流控实验、气体反应动力学、催化研究中的稳定气源控制
• ‌分析仪器‌：气相色谱（GC）、质谱（MS）等设备的载气与辅助气流量管理
• ‌生物制药‌：细胞培养、发酵罐中的无菌气体（如O₂、CO₂）比例控制
• ‌新能源测试‌：燃料电池、电解水制氢系统中的氢气/氧气流量调节

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 进气端必须加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器毛细管或控制阀
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 使用前需确认气体类型，并正确设置‌气体校正因子（GCF）‌
• 定期进行零点校准，特别是在环境温度变化较大时