‌Tokyo Keiso 东京计装附带显示器流量控制器 MODEL 8700 SERIES‌ 是一款集成‌高精度质量流量控制与现场数字显示功能‌于一体的智能化设备，专为需要实时监控与调节气体流量的工业及科研场景设计，广泛应用于半导体、新能源、实验室自动化等领域。

核心技术特性：

• ‌控制类型‌：‌热式质量流量控制器（MFC）‌，采用‌恒温差检测原理‌，实现对气体质量流量的直接测量与闭环控制。
• ‌内置LCD显示屏‌：支持‌实时显示瞬时流量、累计流量、设定值、报警状态‌等关键参数，无需外接显示单元即可完成现场调试与监控。
• ‌流量范围‌：覆盖 ‌1–100 SCCM 至 1–10 L/min（N₂当量）‌，量程比达 ‌1:1000‌，满足微小流量精准控制需求。
• ‌控制精度‌：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
• ‌重复性‌：‌±0.5% F.S.‌，确保长期运行稳定
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（90%响应），适用于动态工艺过程
• ‌输出信号‌：
  • 模拟输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌（可选），便于接入PLC或SCADA系统
• ‌控制输入‌：支持 ‌0–5 VDC 或 0–10 VDC‌ 远程设定信号，实现外部系统联动控制
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源设计提升抗干扰能力

结构与材质：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，耐腐蚀性强，适用于N₂、O₂、H₂、Ar、CO₂等多种工业气体
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌CR 或 NBR‌，适配不同化学环境
• ‌连接方式‌：支持 ‌1/4" VCR、Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等高密封性接口，适用于洁净系统与高压应用
• ‌电气接口‌：‌D-sub 9针连接器‌，符合KFC与SEMI标准，便于系统集成
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用

智能化功能亮点：

• ‌一键零点校准‌：支持现场清零，减少环境漂移影响
• ‌气体校正因子（GCF）设置‌：出厂以 ‌N₂ 标定‌，可通过菜单设置适配其他气体（如H₂、O₂、CH₄等），保证多气体应用下的测量精度
• ‌双向流量控制（可选）‌：可实现正向供气与反向抽气的双向调节，适用于特殊回路工艺
• ‌多单位切换显示‌：支持SCCM、SLM、Nm³/h等多种单位实时切换，提升操作便捷性
• ‌报警输出功能‌：具备超限、断流、传感器故障等报警提示，并可通过继电器或数字信号输出

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：CVD、PVD、刻蚀等工艺中的特种气体**供给
• ‌实验室自动化‌：微流控系统、反应器气体比例控制
• ‌分析仪器‌：气相色谱、质谱仪的载气流量管理
• ‌新能源测试‌：燃料电池、电解水制氢系统的氢气/氧气流量调节
• ‌生物制药‌：发酵罐、细胞培养中的无菌气体（如O₂、CO₂）比例控制

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 进气端必须加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞毛细管或阀门
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 使用前需确认气体类型并正确设置‌GCF参数‌
• 定期进行零点校准，特别是在环境温度变化较大时