Tokyo Keiso 东京计装压力调节器用流量计 MODEL RK4400 SERIES‌ 是一款专为‌气体压力调节系统配套设计的高精度热式质量流量计‌，用于实时监测经过减压阀或压力调节器后的气体流量，确保供气系统的稳定性与可控性，广泛应用于半导体、实验室、分析仪器及精密制造等领域。

核心技术参数：

• ‌测量原理‌：采用‌恒温差式热式质量流量传感技术‌，直接测量气体质量流量，不受温度、压力变化影响。
• ‌流量范围‌：支持 ‌1–100 SCCM 至 1–10 L/min（N₂当量）‌，量程比高达 ‌1:1000‌，满足微小流量精准监控需求。
• ‌测量精度‌：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
• ‌重复性‌：‌±0.5% F.S.‌，保障长期运行一致性
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），适用于动态气流监测
• ‌输出信号‌：
  • 标准模拟输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌，便于接入PLC或数据采集系统
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源设计提升系统稳定性
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–45°C‌
  • 环境温度：‌5–45°C‌
  • *大工作压力：‌980 kPaG（约10 bar）‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，具备优异耐腐蚀性，适用于N₂、O₂、Ar、H₂、CO₂等多种工业气体
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌CR 或 NBR‌，适配不同化学兼容性需求
• ‌连接方式‌：支持 ‌1/4" VCR、1/4" Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等高密封性接口，适用于洁净系统与高压应用
• ‌电气接口‌：‌D-sub 9针连接器‌，符合KFC与SEMI标准，便于系统集成
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用

功能亮点：

• ‌专为压力调节系统优化‌：可**检测压力调节器出口端的瞬时流量变化，帮助判断调节阀响应状态与系统泄漏情况。
• ‌气体校正因子（GCF）可设‌：出厂以 ‌N₂ 标定‌，可通过参数设置适配H₂、O₂、CO₂、CH₄等多种气体，保证多气体应用下的测量精度。
• ‌零点自动校准功能‌：支持一键清零，减少环境漂移影响。
• ‌LCD现场显示模块（可选）‌：实时显示设定流量、实际流量、累计流量及报警状态，便于本地调试。
• ‌双向流量检测能力（可选）‌：可识别正向供气与反向抽气，适用于特殊回路监控。

典型应用领域：

• ‌气体压力调节系统监控‌：用于评估减压阀性能、响应速度与稳定性
• ‌半导体制造‌：CVD、PVD、刻蚀等工艺中特种气体供给系统的流量验证
• ‌实验室研究‌：微流控实验、气体反应动力学中的稳定气源监测
• ‌分析仪器‌：气相色谱（GC）、质谱（MS）等设备的载气流量管理
• ‌新能源测试‌：燃料电池、电解水制氢系统中的氢气/氧气流量监控

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 进气端必须加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器毛细管
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 使用前需确认气体类型，并正确设置‌气体校正因子（GCF）‌
• 定期进行零点校准，特别是在环境温度变化较大时