Tokyo Keiso 东京计装气体混合专用流量计 MODEL RK120XM SERIES‌ 是一款专为‌高精度气体混合系统‌设计的‌热式质量流量计（MFM）‌，用于实时监测与控制多种气体的独立流量，确保混合比例的准确性与稳定性，广泛应用于半导体、新能源、实验室研发及精密制造等领域。

核心技术参数：

• ‌测量原理‌：采用‌恒温差式热式质量流量传感技术‌，直接测量气体质量流量，不受温度、压力波动影响。
• ‌流量范围‌：支持 ‌10 SCCM～20 SLM（N₂当量）‌，量程比达 ‌1:2000‌，满足微小流量至中大流量的精准监控需求。
• ‌测量精度‌：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
• ‌重复性‌：‌±0.5% F.S.‌，保障长期运行一致性
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），适用于动态气体混合过程
• ‌输出信号‌：
  • 标准模拟输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌，便于接入PLC或数据采集系统
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源设计提升系统稳定性
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–45°C‌
  • 环境温度：‌5–45°C‌
  • *大工作压力：‌1 MPaG（约10 bar）‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，具备优异耐腐蚀性，适用于N₂、O₂、H₂、Ar、CO₂、CH₄等多种工业气体
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌CR 或 NBR‌，适配不同化学兼容性需求
• ‌连接方式‌：支持 ‌1/4" VCR、Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等高密封性接口，适用于洁净系统与高压应用
• ‌电气接口‌：‌D-sub 9针连接器‌，符合KFC与SEMI标准，便于系统集成
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用

功能亮点：

• ‌专为气体混合系统优化‌：可**测量各支路气体流量，确保混合比例稳定，适用于配气柜、标准气体生成装置等场景。
• ‌气体校正因子（GCF）可设‌：出厂以 ‌N₂ 标定‌，可通过参数设置适配H₂、O₂、CO₂、CH₄等多种气体，保证多气体应用下的测量精度。
• ‌零点自动校准功能‌：支持一键清零，减少环境漂移影响。
• ‌LCD现场显示模块（可选）‌：实时显示设定流量、实际流量、累计流量及报警状态，便于本地调试。
• ‌双向流量检测能力（可选）‌：可识别正向供气与反向抽气，适用于特殊回路监控。

典型应用领域：

• ‌气体混合系统‌：用于半导体工艺中特种气体（如SiH₄、NF₃）与载气（N₂、Ar）的**配比
• ‌实验室研究‌：气体反应动力学、催化实验中的多组分气流控制
• ‌分析仪器‌：气相色谱、质谱仪的多路载气/辅助气流量管理
• ‌新能源测试‌：燃料电池、电解水制氢系统中的氢气/氧气混合比例监控
• ‌医疗设备‌：麻醉机、呼吸机中的混合气体供给系统

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 进气端必须加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器毛细管
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 使用前需确认气体类型，并正确设置‌气体校正因子（GCF）‌
• 定期进行零点校准，特别是在环境温度变化较大时