Tokyo Keiso 东京计装**流量测量多流量计 MODEL RK140X SERIES‌ 是一款专为‌高精度多通道气体流量监测‌设计的‌热式质量流量计（MFM）阵列系统‌，支持‌*多4路独立气体通道同步测量‌，适用于需要对多个气流支路进行集中监控与数据比对的复杂工艺场景，广泛应用于半导体制造、气体混合系统、实验室自动化及新能源研发等领域。

核心技术参数：

• ‌测量原理‌：采用‌恒温差式热式质量流量传感技术‌，直接测量气体质量流量，不受温度、压力波动影响。
• ‌通道数量‌：支持 ‌1～4 个独立测量通道‌（RK140X-1 至 RK140X-4），可灵活配置
• ‌流量范围‌：每通道支持 ‌10 SCCM～20 SLM（N₂当量）‌，量程比达 ‌1:2000‌
• ‌测量精度‌：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
• ‌重复性‌：‌±0.5% F.S.‌，保障多通道间一致性
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），适用于动态气流过程
• ‌输出信号‌：
  • 每通道独立输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌（主从模式），便于接入PLC或SCADA系统
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源设计提升抗干扰能力
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–45°C‌
  • 环境温度：‌5–45°C‌
  • *大工作压力：‌1 MPaG（约10 bar）‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，耐腐蚀性强，适用于N₂、O₂、H₂、Ar、CO₂、CH₄等多种工业气体
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌CR 或 NBR‌，适配不同化学环境
• ‌连接方式‌：支持 ‌1/4" VCR、Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等高密封性接口，适用于洁净系统与高压应用
• ‌电气接口‌：‌D-sub 15针或25针连接器‌（多通道集成），符合KFC与SEMI标准
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用

功能亮点：

• ‌多通道集成设计‌：单台设备实现‌*多4路气体流量同步监测‌，节省安装空间与布线成本
• ‌独立校准与GCF设置‌：每通道可单独进行零点校准，并设置‌气体校正因子（GCF）‌，适配不同测试气体（如H₂、O₂、CO₂等）
• ‌高一致性输出‌：多通道间信号输出高度一致，确保气体配比控制精准
• ‌LCD现场显示模块（可选）‌：支持实时查看各通道瞬时流量、累计流量及报警状态，便于本地调试
• ‌报警输出功能‌：具备超限、断流、传感器故障等报警提示，可通过继电器或数字信号输出

典型应用领域：

• ‌半导体工艺‌：CVD、PVD、刻蚀等多路特种气体供给系统的流量验证
• ‌气体混合系统‌：标准气体配制、多组分气体反应中的比例监控
• ‌实验室研究‌：催化反应、气体动力学实验中的多支路气流分析
• ‌新能源测试‌：燃料电池多通道氢气/空气供给系统监控
• ‌分析仪器‌：气相色谱、质谱仪的多路载气/辅助气管理

安装与使用建议：

• 建议在‌每个传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 每路进气端必须加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞毛细管
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 使用前需确认各通道气体类型，并正确设置对应‌GCF参数‌
• 定期进行零点校准，特别是在环境温度变化较大时

⚠️ 注意：MODEL RK140X SERIES 为‌多通道质量流量计（MFM）‌，‌不具备流量调节功能‌，若需闭环控制，建议搭配使用MFC（如MODEL 3660或8700 SERIES）组成完整控制系统。