Tokyo Keiso 东京计装带针阀的多流量计 MODEL RK120X SERIES‌ 是一款集‌高精度热式质量流量测量与手动流量调节功能‌于一体的复合型气体监测设备，专为需要‌**控制与实时监控‌的多支路气体系统设计，广泛应用于半导体、实验室研发、气体混合及新能源测试等领域。

核心技术参数：

• ‌测量原理‌：采用‌恒温差式热式质量流量传感技术‌，直接测量气体质量流量，不受温度、压力波动影响。
• ‌流量范围‌：支持 ‌10 SCCM～20 SLM（N₂当量）‌，量程比达 ‌1:2000‌，满足微小流量至中大流量的精准监控需求。
• ‌测量精度‌：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
• ‌重复性‌：‌±0.5% F.S.‌，保障长期运行一致性
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），适用于动态气流过程
• ‌输出信号‌：
  • 标准模拟输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌，便于接入PLC或数据采集系统
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源设计提升系统稳定性
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–45°C‌
  • 环境温度：‌5–45°C‌
  • *大工作压力：‌1 MPaG（约10 bar）‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，具备优异耐腐蚀性，适用于N₂、O₂、H₂、Ar、CO₂、CH₄等多种工业气体
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌CR 或 NBR‌，适配不同化学兼容性需求
• ‌连接方式‌：支持 ‌1/4" VCR、Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等高密封性接口
• ‌电气接口‌：‌D-sub 9针连接器‌，符合KFC与SEMI标准
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用
• ‌集成组件‌：在‌RK120XM流量计基础上集成精密针阀（Needle Valve）‌，实现‌流量测量+手动调节一体化‌

功能亮点：

• ‌测量与调节一体化设计‌：集成‌高精度MFM与可调针阀‌，可在同一单元内完成‌流量读取与微调控制‌，节省空间并提升系统响应效率。
• ‌气体校正因子（GCF）可设‌：出厂以 ‌N₂ 标定‌，可通过菜单设置适配H₂、O₂、CO₂、CH₄等多种气体，保证多气体应用下的测量精度。
• ‌零点自动校准功能‌：支持一键清零，减少环境漂移影响。
• ‌LCD现场显示模块（可选）‌：实时显示瞬时流量、累计流量、设定值及报警状态，便于本地调试。
• ‌双向流量检测能力（可选）‌：可识别正向供气与反向抽气，适用于特殊回路监控。

典型应用领域：

• ‌气体配比系统‌：用于半导体工艺中特种气体与载气的**配比控制
• ‌实验室研究‌：催化反应、气体动力学实验中的流量调节与监测
• ‌分析仪器‌：气相色谱、质谱仪的载气微调与流量验证
• ‌新能源测试‌：燃料电池、电解水制氢系统中的氢气/氧气流量精细控制
• ‌医疗设备‌：麻醉机、呼吸机中的混合气体供给调节

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 进气端必须加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器毛细管
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 使用前需确认气体类型，并正确设置‌气体校正因子（GCF）‌
• 定期进行零点校准，特别是在环境温度变化较大时
• 针阀调节时应‌缓慢旋转‌，避免冲击性流量变化损坏传感器

⚠️ 注意：MODEL RK120X SERIES 为‌带针阀的质量流量计（MFM + Needle Valve）‌，‌不具备自动闭环控制功能‌，若需自动调节，建议搭配MFC（如MODEL 8700 SERIES）使用。