Tokyo Keiso 东京计装吹扫流量计 MODEL RK1000 SERIES‌ 是一款专为‌高纯度气体管路系统‌设计的‌小型化热式质量流量计（MFM）‌，主要用于半导体、光伏、光纤制造等领域的‌吹扫气体流量监测‌，确保管道清洁与工艺稳定性。

核心技术参数：

• ‌测量原理‌：采用‌恒温差式热式质量流量传感技术‌，直接测量气体质量流量，不受温度、压力波动影响。
• ‌流量范围‌：支持 ‌10 SCCM～10 SLM（N₂当量）‌，量程比达 ‌1:1000‌，满足微小吹扫流量的精准监控需求。
• ‌测量精度‌：‌±1.0% 读值 ±0.5% 满量程‌
• ‌重复性‌：‌±0.5% F.S.‌，保障长期运行一致性
• ‌响应时间‌：‌≤1秒‌（达到90%响应），适用于动态吹扫过程
• ‌输出信号‌：
  • 标准模拟输出：‌0–5 VDC 或 4–20 mA‌
  • 可选数字通信：‌RS-485 Modbus RTU‌，便于接入PLC或数据采集系统
• ‌供电电源‌：‌+15VDC (±5%) 100mA，-15VDC (±5%) 100mA‌，双电源设计提升系统稳定性
• ‌工作条件‌：
  • 气体温度：‌5–45°C‌
  • 环境温度：‌5–45°C‌
  • *大工作压力：‌1 MPaG（约10 bar）‌

结构与材质特性：

• ‌本体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，具备优异耐腐蚀性，适用于N₂、Ar、O₂、H₂等多种高纯气体
• ‌密封材料‌：标准配置为 ‌FKM（Viton）‌，可选 ‌全金属密封‌ 以适配超高纯（UHP）气体系统
• ‌连接方式‌：支持 ‌1/4" VCR、Swagelok、Rc1/4 螺纹‌ 等高密封性接口，防止泄漏
• ‌电气接口‌：‌D-sub 9针连接器‌，符合KFC与SEMI标准，便于系统集成
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用

功能亮点：

• ‌专为吹扫工艺优化‌：适用于设备停机、切换或启动时的‌惰性气体吹扫过程监控‌，防止氧化与污染。
• ‌气体校正因子（GCF）可设‌：出厂以 ‌N₂ 标定‌，可通过参数设置适配Ar、H₂、O₂、He等多种气体，保证多气体应用下的测量精度。
• ‌零点自动校准功能‌：支持一键清零，减少环境漂移影响。
• ‌LCD现场显示模块（可选）‌：实时显示设定流量、实际流量、累计流量及报警状态，便于本地调试。
• ‌低功耗稳定运行‌：适用于7×24小时连续监控场景，如洁净室气体管路系统。

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：CVD、PVD、刻蚀设备的氮气/氩气吹扫回路监控
• ‌光伏产业‌：硅片处理设备中的保护气体吹扫流量管理
• ‌光纤预制棒制造‌：高温炉体冷却与净化气体流量监测
• ‌实验室洁净系统‌：手套箱、真空腔体的惰性气体置换过程控制
• ‌新能源设备‌：燃料电池测试台的氢气管路吹扫监控

安装与使用建议：

• 建议在‌传感器前后预留10D和5D直管段‌，避免涡流干扰
• 进气端必须加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞传感器毛细管
• 避免安装在振动强烈或电磁干扰严重的区域
• 使用前需确认气体类型，并正确设置‌气体校正因子（GCF）‌
• 定期进行零点校准，特别是在环境温度变化较大时