Tokyo Keiso 东京计装波纹管针阀流量计 MODEL RK1500 SERIES‌ 是一款专为‌高密封性气体管路系统‌设计的‌精密手动流量调节阀‌，集成‌波纹管密封针阀与浮子流量计‌，实现‌流量调节+可视化监控一体化‌，广泛应用于半导体、实验室、新能源及高纯气体系统中对泄漏率要求极严的场景。

核心技术参数：

• ‌调节原理‌：‌波纹管密封针阀 + 变面积式浮子流量计‌
• ‌对象流体‌：‌N₂、O₂、H₂、Ar、He 等洁净气体‌
• ‌流量范围‌：
  • 气体（空气，标准状态）：‌0.5～5.0 L/min 至 5～50 L/min‌
• ‌精度等级‌：‌±6% F.S.‌
• ‌公称通径（DN）‌：‌1/4" Rc 螺纹接口‌
• ‌耐压能力‌：‌0.7 MPa(G)‌
• ‌使用温度‌：
  • 流体温度：‌10–40°C‌
  • 环境温度：‌10–35°C（无结露）‌

结构与材质特性：

• ‌阀体材质‌：‌SUS316不锈钢‌，耐腐蚀性强，适用于高纯与腐蚀性气体
• ‌波纹管密封结构‌：采用‌多层不锈钢波纹管全焊接密封‌，‌杜绝外泄漏‌，适用于Class VI零泄漏要求
• ‌流量计本体‌：‌透明丙烯酸树脂（PMMA）‌，高透光性，便于实时观察浮子状态
• ‌浮子材质‌：‌SUS304 或 PTFE 包覆型‌，适配不同化学兼容性需求
• ‌连接方式‌：‌1/4" Rc 螺纹‌，可选VCR或Swagelok接口
• ‌调节方式‌：‌顶部手轮微调‌，实现‌精细流量控制‌（可调至0.1圈精度）
• ‌防护等级‌：‌IP65‌，防尘防水，适合工业现场使用

功能亮点：

• ‌一体式设计‌：集成‌针阀与流量计‌，节省安装空间，减少接头数量，降低泄漏风险
• ‌零外泄漏保障‌：波纹管密封结构‌完全隔离阀杆与外部环境‌，适用于高纯、有毒、易燃气体系统
• ‌实时流量可视化‌：透明流量计管体，‌可直接观察气体流动状态、气泡或堵塞情况‌
• ‌高重复性调节‌：精密螺纹传动机构，确保每次设定位置的流量一致性
• ‌本质**‌：无电子部件，‌无需供电‌，适用于防爆区域（如 Zone 1/2）

典型应用领域：

• ‌半导体制造‌：CVD、PVD设备中的特种气体供给与吹扫回路
• ‌实验室研究‌：催化反应、气体合成中的**流量控制
• ‌新能源测试‌：燃料电池氢气供给系统的**调节
• ‌医疗设备‌：麻醉机、呼吸机中的混合气体微调
• ‌高纯气体系统‌：气体柜、标准气配制装置中的零泄漏控制

安装与使用建议：

• 必须‌垂直安装（流体自下而上）‌，确保浮子自由升降
• 前后直管段要求：‌上游 ≥ 5D，下游 ≥ 3D‌
• 进气端建议加装‌0.5 μm级过滤器‌，防止颗粒物堵塞浮子腔
• 调节时应‌缓慢旋转手轮‌，避免冲击性流量变化
• 避免安装在振动强烈或阳光直射区域，防止读数抖动或材料老化
• 定期检查密封件与浮子清洁度，确保长期稳定运行

⚠️ 注意：MODEL RK1500 SERIES 为‌手动调节型一体化装置‌，‌不具备自动控制或信号输出功能‌。若需远程监控或自动闭环控制，建议搭配使用热式质量流量计（如RK120XM系列）与MFC控制器组合使用。