大塚 OPTM 系列是显微分光式全自动膜厚仪，核心优势为非接触 / 无损伤、1nm 级精度、*小 3μm 微区、1 秒 / 点高速，可测膜厚与光学常数 (n/k)，替代椭偏仪。
一、型号与核心规格（自动 XY 平台）

• OPTM-A1（紫外 - 可见）
  • 波长：230–800nm（氘灯 + 卤素灯）
  • 膜厚：1nm–35μm
  • 光径：φ10μm（*小≈3μm）
  • 样品：≤200×200×17mm
• OPTM-A2（可见 - 近红外）
  • 波长：360–1100nm（卤素灯）
  • 膜厚：7nm–49μm
• OPTM-A3（近红外）
  • 波长：900–1600nm（InGaAs）
  • 膜厚：16nm–92μm
• 通用参数
  • 测量：单点≤1 秒；自动 XY 可编程批量
  • 解析：多层膜、n/k/ **反射率；透明基板可去背面反射（**）
  • 物镜：5×(φ40μm)/10×(φ20μm)；可选 20×/50×

二、主要特点

1. 高精度微区：1nm 级，*小 3μm，适合晶圆 / 面板微小图案。
2. 全自动批量：XY 自动平台 + 宏指令，多点 / 多样品一键测量。
3. 广谱适配：紫外到近红外，覆盖从超薄膜到厚膜。
4. 易用软件：向导式建模，一键解析；实时成像与定位。
5. **稳定：区域传感器防撞；闭环光源，长期稳定。