TOKYO KEISO东京计装波动型气体流量控制器
产品型号:MODEL 2203 SERIES
产品品牌:Tokyo keiso​东京计装
产品介绍:

TOKYO KEISO东京计装波动型气体流量控制器 稳定的流量控制特性 通过由高精度零件组成的非旋转针阀平稳调节微流量。 不受负载压力损失的影响 由于即使出口侧(二次侧)的压力损失发生变化,流量也不会受到影响,因此该阀门对于流量控制的**阶段至关重要。 清洁性 它的组装与要求清洁度的分析仪器亦可兼容

详细介绍

TOKYO KEISO东京计装波动型气体流量控制器MODEL 2203 SERIES‌ 是专为高精度气体流量控制设计的精密仪器,广泛应用于半导体制造、生物制药、实验室分析及**工业过程控制等领域。

该系列基于‌热式质量流量控制原理‌,通过检测气体流经传感器时的热量变化来实现对流量的精准测量与调节。其核心优势在于无需额外压力与温度补偿即可直接输出‌质量流量信号‌,确保在复杂工况下仍保持稳定控制性能。

主要特性:

  • 高精度控制‌:典型精度可达 ±1% F.S.,重复性 ±0.5% F.S.
  • 快速响应‌:响应时间小于1秒,适用于动态调节需求
  • 宽量程比‌:可达100:1,支持从微小流量到大流量的连续控制
  • 多种气体预设‌:内置常见气体(如N₂、O₂、Ar、CO₂等)校准参数,可快速切换
  • 输出信号多样‌:支持4-20mA、0-5/10V、RS-485(Modbus协议)等标准工业信号
  • 材质兼容性强‌:流体接触部分采用SUS316L不锈钢,耐腐蚀,适用于高纯度气体系统
  • 安装方式灵活‌:支持面板安装与管道直连,便于系统集成

应用场景:

  • 半导体工艺中的气体配送系统(GDS)
  • 实验室气相色谱仪(GC)、质谱仪(MS)供气控制
  • 生物反应器与发酵罐的气体混合调控
  • 燃料电池测试平台中的氢气/空气流量管理