日本TOKYO KEISO东京计装流量测量设备
产品型号:P-810
产品品牌:Tokyo keiso​东京计装
产品介绍:

日本TOKYO KEISO东京计装流量测量设备 非常适合半导体制造过程中各种气体的流量测量。 使用外部密封条,可靠性高。 丰富的设备使用经验。 也有电致抛光处理,低泄漏的高等级型。

详细介绍

TOKYO KEISO东京计装P-810是一款专为半导体制造等高要求工业场景设计的浮子流量计‌,适用于气体与液体的**流量测控,具备高密封性与广泛兼容性。

核心技术参数

  • 测量介质‌:适用于‌全部气体与液体‌,包括高纯气体、腐蚀性液体等
  • 流量范围‌:
    • 空气(标准状态):*小 ‌5~50 L/min‌,*大可达 ‌6~60 L/min
    • 水:*小 ‌5~50 mL/min‌,*大 ‌0.2~2 L/min
  • 量程比‌:高达 ‌10:1‌,支持宽范围流量监测
  • 测量精度‌:
    • P-813型号:‌±3% F.S.
    • P-812型号:‌±5% F.S.
  • *高使用温度‌:‌120°C‌(使用FPM密封材料时)
  • 连接方式‌:标准为 ‌Rc1/4‌,可选 ‌Rc1/8、NPT、SW、VCR‌ 等多种接口
  • 本体材质‌:接液部分为 ‌SCS14(标准)或 SUS316‌,耐腐蚀性强
  • 锥管材质‌:‌耐热玻璃‌,便于实时观察浮子位置
  • 密封结构‌:采用‌外周密封设计‌,显著提升可靠性与防泄漏性能

产品特点

  • ✅ ‌高可靠性密封‌:外周密封结构有效防止泄漏,特别适用于半导体、制药等对洁净度要求极高的产线
  • ✅ ‌广泛适用性‌:已广泛应用于环保、化工、生物制药及集成电路制造等领域
  • ✅ ‌高品质选型支持‌:提供‌电解研磨处理‌版本,进一步降低表面粗糙度,减少污染风险,适用于超高纯介质传输
  • ✅ ‌模块化扩展‌:支持选配报警输出、信号传输、遮光板安装等功能,便于集成至自动化控制系统
  • ✅ ‌安装灵活‌:支持面板前安装、六角螺母固定等多种方式,适配不同设备布局需求

主要应用领域

  • 半导体制造中的‌工艺气体流量监控
  • 化工与制药行业的‌反应过程吹扫与供给系统
  • 高纯水系统的‌循环流量监测
  • 实验室与中试装置的‌流体工艺控制