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TOKYO KEISO东京计装
日本TOKYO KEISO东京计装流量测量设备
产品型号:P-810
产品品牌:Tokyo keiso东京计装
产品介绍:
日本TOKYO KEISO东京计装流量测量设备 非常适合半导体制造过程中各种气体的流量测量。 使用外部密封条,可靠性高。 丰富的设备使用经验。 也有电致抛光处理,低泄漏的高等级型。
详细介绍
TOKYO KEISO东京计装P-810是一款专为半导体制造等高要求工业场景设计的浮子流量计
,适用于气体与液体的**流量测控,具备高密封性与广泛兼容性。
核心技术参数
测量介质
:适用于
全部气体与液体
,包括高纯气体、腐蚀性液体等
流量范围
:
空气(标准状态):*小
5~50 L/min
,*大可达
6~60 L/min
水:*小
5~50 mL/min
,*大
0.2~2 L/min
量程比
:高达
10:1
,支持宽范围流量监测
测量精度
:
P-813型号:
±3% F.S.
P-812型号:
±5% F.S.
*高使用温度
:
120°C
(使用FPM密封材料时)
连接方式
:标准为
Rc1/4
,可选
Rc1/8、NPT、SW、VCR
等多种接口
本体材质
:接液部分为
SCS14(标准)或 SUS316
,耐腐蚀性强
锥管材质
:
耐热玻璃
,便于实时观察浮子位置
密封结构
:采用
外周密封设计
,显著提升可靠性与防泄漏性能
产品特点
✅
高可靠性密封
:外周密封结构有效防止泄漏,特别适用于半导体、制药等对洁净度要求极高的产线
✅
广泛适用性
:已广泛应用于环保、化工、生物制药及集成电路制造等领域
✅
高品质选型支持
:提供
电解研磨处理
版本,进一步降低表面粗糙度,减少污染风险,适用于超高纯介质传输
✅
模块化扩展
:支持选配报警输出、信号传输、遮光板安装等功能,便于集成至自动化控制系统
✅
安装灵活
:支持面板前安装、六角螺母固定等多种方式,适配不同设备布局需求
主要应用领域
半导体制造中的
工艺气体流量监控
化工与制药行业的
反应过程吹扫与供给系统
高纯水系统的
循环流量监测
实验室与中试装置的
流体工艺控制
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