日本大塚电子 Otsuka RETS‑100nx（相位差 / 延迟测量系统）

型号：OPTM-A3（日本大塚电子 Otsuka Electronics）

类型：显微分光膜厚仪（近红外波段）

核心用途：非接触、非破坏测量透明 / 半透明薄膜的膜厚、折射率 n、消光系数 k、**反射率

二、核心参数（OPTM-A3）

• 波长范围：900 ～ 1600 nm（近红外）
• 膜厚测量范围：16 nm ～ 92 μm
• 测量光斑：φ5 / φ10 / φ20 / φ40 μm（*小约 3 μm）
• 检测器：InGaAs（近红外高感）
• 光源：卤素灯
• 测量时间：1 秒 / 点
• 多层膜解析：*大 50 层
• 样品尺寸：Max 200 × 200 × 17 mm（自动 XY 平台）
• 外形尺寸：555 × 537 × 568 mm；重量约 55 kg

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三、主要特点

1. 近红外专用：适合厚膜、半导体、光学镀膜、塑胶 / 高分子膜（A1 紫外、A2 可见 - 近红外、A3 近红外厚膜）
2. 非接触无损：不损伤样品，可在线 / 离线、晶圆 / 面板 / 卷材检测
3. 高精度：可测折射率 n、消光系数 k、**反射率；**去除透明基板背面反射，测 “真实膜厚 / 反射率”
4. 软件易用：自动对焦、测量序列自定义、宏功能、初学者向导
5. **设计：区域传感器**防护；可集成至自动化产线

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四、典型应用行业 / 场景

• 半导体：晶圆氧化膜、氮化膜、光刻胶、多层介质膜
• 光电显示：LCD/OLED、TFT、偏光片、AR/HC 膜、触摸屏
• 光学元件：光学镜片镀膜、滤光片、DLC 类金刚石膜
• 材料 / 化工：PET/PI 薄膜、高分子涂层、胶粘剂、建筑玻璃镀膜
• 新能源：锂电池隔膜、光伏玻璃 / 膜、封装胶膜

1. 型号波长范围膜厚范围适用场景OPTM-A1230～800 nm（紫外 - 可见）1～35 μm超薄膜、紫外敏感膜OPTM-A2360～1100 nm（可见 - 近红外）7～49 μm通用中厚膜OPTM-A3900～1600 nm（近红外）16～92 μm厚膜、高透 / 红外膜
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