TOKYO KEISO东京计装小直径净化套装CP/CM是一类专为气体或液体管路设计的恒流控制装置‌，由‌C型恒流阀‌与‌P系列吹扫流量计或M-900型小流量金属管可变面积流量计‌组合而成，能够在供气压力或负载压力波动的情况下，依然保持输出流量的稳定，确保工艺过程的连续性与**性。

该套装主要适用于‌半导体、制药、食品等高洁净度要求行业‌中的小流量控制场景，其核心特点如下：

• ‌适用介质‌：可处理‌气体‌（如氮气、压缩空气）和‌液体‌（如超纯水、化学药液）
• ‌连接口径‌：涵盖 ‌Rc 1/8 至 Rc 1/2‌（即公称通径约6mm至15mm），适合小直径管路系统
• ‌流量范围‌（以空气/水当量为例）：
  • ‌气体‌（0MPa, 0℃）：*小 ‌10 mL/min‌，*大可达 ‌300 L/min‌(nor)
  • ‌液体‌（密度1.0 g/cm³, 粘度1.0 mPa·s）：*小 ‌5 mL/min‌，*大 ‌10 L/min‌
• ‌流体温度‌：*高支持 ‌120℃‌
• ‌流体压力‌：*高承受 ‌0.7～1.0 MPa‌
• ‌测量精度‌：‌±3% F.S.（气体）‌，‌±5% F.S.（液体）‌
• ‌过程连接‌：采用 ‌Rc螺纹连接‌，便于快速安装与维护
• ‌结构材质‌：关键部件采用耐腐蚀材料（如SUS304/SUS316），部分型号可选PFA涂层，适用于强腐蚀性介质

CP/CM系列通过‌一次压力波动型‌与‌二次压力波动型‌两种控制方式，适应不同工况下的压力变化环境，广泛用于：

• 半导体制造中的‌腔体吹扫与惰性气体保护‌
• 制药设备中的‌管道清洗与无菌吹干‌
• 实验室分析仪器的‌载气稳流供给‌
• 食品生产线的‌无菌灌装保护气控制‌

该装置无需外部电源，依靠机械结构实现恒流，具有高可靠性与免维护优势，是精密工业中实现‌微小流量稳定供给‌的关键组件之一。