Lasertec是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜
LASERTEC 的白光共聚焦(White Light Confocal)主要集成在 OPTELICS HYBRID⁺ 平台上,是其六大核心功能之一(另含激光共聚焦、DIC、干涉、膜厚测量等)。
半导体:晶圆 / 掩模微观形貌、缺陷检查、保护膜 / 光刻胶膜厚
精密加工:刀具、轴承、MEMS 三维轮廓、粗糙度
材料 / 金属:金相、镀层、腐蚀面、粉末微观结构
显示 / 光学:玻璃、滤光片、ITO 膜、微透镜阵列
生物 / 医药:细胞、组织切片、药片表面、粉体颗粒