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LASERTEC株式会社白光共聚焦显微镜
产品型号:OPTELICS HYBRID⁺
产品品牌:Lasertec徕泰
产品介绍:

Lasertec徕泰是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜

详细介绍

Lasertec是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜

LASERTEC 的白光共聚焦(White Light Confocal)主要集成在 OPTELICS HYBRID⁺ 平台上,是其六大核心功能之一(另含激光共聚焦、DIC、干涉、膜厚测量等)。


半导体:晶圆 / 掩模微观形貌、缺陷检查、保护膜 / 光刻胶膜厚

精密加工:刀具、轴承、MEMS 三维轮廓、粗糙度

材料 / 金属:金相、镀层、腐蚀面、粉末微观结构

显示 / 光学:玻璃、滤光片、ITO 膜、微透镜阵列

生物 / 医药:细胞、组织切片、药片表面、粉体颗粒


Lasertec是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜

LASERTEC 的白光共聚焦(White Light Confocal)主要集成在 OPTELICS HYBRID⁺ 平台上,是其六大核心功能之一(另含激光共聚焦、DIC、干涉、膜厚测量等)。

  • 半导体:晶圆 / 掩模微观形貌、缺陷检查、保护膜 / 光刻胶膜厚
  • 精密加工:刀具、轴承、MEMS 三维轮廓、粗糙度
  • 材料 / 金属:金相、镀层、腐蚀面、粉末微观结构
  • 显示 / 光学:玻璃、滤光片、ITO 膜、微透镜阵列
  • 生物 / 医药:细胞、组织切片、药片表面、粉体颗粒