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Lasertec徕泰
Lasertec徕泰半导体检测设备
产品型号:VL3000DX‑SVF18SP(超高温激光共聚焦显微镜)
产品品牌:Lasertec徕泰
产品介绍:
Lasertec徕泰是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜
详细介绍
Lasertec是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜
一、核心参数
1. 光学系统
激光
:405nm 紫激光(分辨率≈0.14μm,常温)
成像
:共聚焦扫描,
抗高温强光干扰
放大
:*大
3000×
(21 寸屏)
物镜
:
常温:10×/20×/50×/100×
高温长工作距:2×/5×/10×/20×/35×
2. 高温加热炉(SVF18SP)
*高温度
:
1800℃
升温速率
:
≤1500℃/ 秒
(极速)
控温精度
:±1℃,1℃步进可编程
气氛
:真空 / 惰性(Ar/N₂)/ 还原(H₂)
样品腔
:真空密封,兼容坩埚 / 薄片样品
3. 性能与软件
分辨率
:常温≥0.14μm;高温≥0.45μm
帧速
:*高
120 帧 / 秒
(高速捕捉)
记录
:*长 10 小时同步录像 + 温度曲线
软件
:HI‑TOS,温度‑图像联动,自动数据分析
二、关键特点
高温清晰成像
:共聚焦抑制 1800℃黑体辐射,
高对比度无眩光
极速升降温
:1500℃/ 秒,模拟工业淬火 / 焊接热循环
多气氛环境
:真空 / 惰性 / 还原,适配金属、陶瓷、电池材料
原位动态分析
:实时观察
熔融→凝固→相变→枝晶 / 裂纹
全过程
三、典型应用
钢铁冶金
:奥氏体→铁素体相变、魏氏组织、夹杂物演化
有色金属
:钛合金 / 铝合金高温相变、晶粒生长
陶瓷 / 耐火材料
:烧结、晶界迁移、高温蠕变
锂电池
:正极 / 负极高温结构演变、电解液分解
半导体
:硅 / 碳化硅熔融与晶体生长
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