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Lasertec徕泰半导体检测设备
产品型号:VL3000DX‑SVF18SP(超高温激光共聚焦显微镜)
产品品牌:Lasertec徕泰
产品介绍:

Lasertec徕泰是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜

详细介绍


Lasertec是日本半导体检测设备龙头,1960 年创立,总部位于横滨,东证上市(6920)。核心产品为EUV 掩模检查机(如 ACTIS A300)、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜

一、核心参数

1. 光学系统

  • 激光:405nm 紫激光(分辨率≈0.14μm,常温)
  • 成像:共聚焦扫描,抗高温强光干扰
  • 放大:*大 3000×(21 寸屏)
  • 物镜
    • 常温:10×/20×/50×/100×
    • 高温长工作距:2×/5×/10×/20×/35×

2. 高温加热炉(SVF18SP)

  • *高温度1800℃
  • 升温速率≤1500℃/ 秒(极速)
  • 控温精度:±1℃,1℃步进可编程
  • 气氛:真空 / 惰性(Ar/N₂)/ 还原(H₂)
  • 样品腔:真空密封,兼容坩埚 / 薄片样品

3. 性能与软件

  • 分辨率:常温≥0.14μm;高温≥0.45μm
  • 帧速:*高 120 帧 / 秒(高速捕捉)
  • 记录:*长 10 小时同步录像 + 温度曲线
  • 软件:HI‑TOS,温度‑图像联动,自动数据分析

二、关键特点

  1. 高温清晰成像:共聚焦抑制 1800℃黑体辐射,高对比度无眩光
  2. 极速升降温:1500℃/ 秒,模拟工业淬火 / 焊接热循环
  3. 多气氛环境:真空 / 惰性 / 还原,适配金属、陶瓷、电池材料
  4. 原位动态分析:实时观察熔融→凝固→相变→枝晶 / 裂纹全过程

三、典型应用

  • 钢铁冶金:奥氏体→铁素体相变、魏氏组织、夹杂物演化
  • 有色金属:钛合金 / 铝合金高温相变、晶粒生长
  • 陶瓷 / 耐火材料:烧结、晶界迁移、高温蠕变
  • 锂电池:正极 / 负极高温结构演变、电解液分解
  • 半导体:硅 / 碳化硅熔融与晶体生长