Lasertec徕泰超高温激光共聚焦显微镜美萨科技（苏州）有限公司

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Lasertec徕泰超高温激光共聚焦显微镜

产品型号：VL3000DX-SVF18SP

产品品牌：Lasertec徕泰

产品介绍：

Lasertec徕泰是日本半导体检测设备龙头，1960 年创立，总部位于横滨，东证上市（6920）。核心产品为EUV 掩模检查机（如 ACTIS A300）、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜

详细介绍

Lasertec是日本半导体检测设备龙头，1960 年创立，总部位于横滨，东证上市（6920）。核心产品为EUV 掩模检查机（如 ACTIS A300）、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜

一、核心参数

1. 光学系统

激光光源：405nm 紫激光，输出 0.8mW
成像方式：激光扫描共聚焦（常温 / 高温通用）
分辨率：
- 常温：0.14μm（100× 物镜）
- 高温：0.40μm（50× 高温物镜）
放大倍数：*大3000×（21 寸显示器）
扫描速度：1024×1024 像素下15 帧 / 秒
物镜配置：
- 常温：10×、20×、50×、100×
- 高温长工作距：TOS 2×、5×、10×、20×、50×

2. 高温加热炉（SVF18SP）レーザーテック株式会社

温度范围：室温～ 1800℃
升温速率：*快1500℃/ 秒
控温精度：±1℃，1℃步进可编程
气氛环境：真空、惰性（Ar/N₂）、还原（H₂）
有效加热区：φ10×H10mm
样品尺寸：金属 φ7×H3mm；非金属 φ4×H3mm