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Lasertec徕泰半导体 光学与检测
产品型号： MATRICS X800LITE Series
产品品牌：Lasertec徕泰
产品介绍：

Lasertec徕泰是日本半导体检测设备龙头，1960 年创立，总部位于横滨，东证上市（6920）。核心产品为EUV 掩模检查机（如 ACTIS A300）、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜
详细介绍


Lasertec是日本半导体检测设备龙头，1960 年创立，总部位于横滨，东证上市（6920）。核心产品为EUV 掩模检查机（如 ACTIS A300）、晶圆检测设备、FPD 掩模检查机及激光显微镜。

一、核心参数

1. 光学与检测

  • 激光光源：213nm QCW 紫外激光（功率＞400mW）
  • 像素尺寸：100nm（高灵敏度缺陷捕捉）
  • 检测模式：Multi‑Die（多芯片）、Single‑Die（单芯片）
  • 扫描速度：100mm×100mm 区域仅需38 分钟
  • 兼容掩模：6 英寸，Cr/ MoSi/ OMOG 材质

2. 功能特性

  • 同步测量：缺陷检查同时完成CD 均匀性测量 + 地图输出
  • 自动化：支持 OHT（天车）联动，全自动上下料与检测
  • 结构设计：工作台与控制单元一体化，紧凑型机身
  • 适配设备：兼容 RSP150/RSP200 光学掩模标准