日本进口HAMAMATSU/滨松VUV-LED 光源单元
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本全球**光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置（你图中设备所属品类），激光器与光学仪器，整机检测设备。
L10706 是临近辐照型号，配备不锈钢柔性管和独特的制冷机理，经专门设计，用于安装到真空室中。
L10706 设计紧凑，可在设备内轻松铺设柔性管，非常适合需要**去除静电电荷的用途。
日本进口HAMAMATSU/滨松VUV-LED 光源单元
详细参数
| 参数 | 描述 | 单位 |
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| 窗材 | MgF2 | － |
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| 光谱分布 | 115 至 400 | nm |
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| 预热时间 | 25 ±5 | s |
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| 光输出稳定性 | 波动 (p-p) | *大值 | 0.05 | % |
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| 偏差 | *大值 | ±0.3 | %/h |
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| 保证光源寿命 (*1) | 1000 | h |
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| 替换光源 | L10706D | － |
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| 真空法兰 | IDF70 | － |
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| 密封方法 | 铜垫圈 | － |
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| 泄漏量 | 1 x 10-10 Pa m3/s (*2) | － |
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| 输入电压（交流） | 100 V 至 240 V，单相 50 Hz / 60 Hz (*3) | － |
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| 功耗 | *大值 | 200 | VA |
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| 光源单元冷却方法 | 高压空气强制风冷 (*4) | － |
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| 工作温度范围 | +10 至 +35 | ℃ |
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| 储存温度范围 | -10 至 +60 | ℃ |
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| 工作湿度范围 | 低于 80%（无冷凝） | － |
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| 储存湿度范围 | 低于 80%（无冷凝） | － |
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| 外部控制 | 照射控制、照射信号、各种报错信号 | － |
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*1：寿命终止定义为 230 nm 的光输出低于其初始值的 50%，或光输出波动超过*大规格值。
请注意，光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况。
*2：使用氦气泄漏探测器测量的结果。
*3：L10706（电源单元）上的直流插孔输入应为 12 V DC（10.8 V 至 13.2 V DC 且小于 17 W）。
*4：使用高压管，以每分钟 20 至 30 升的流速供应压缩空气。
特性
中和性能（典型值）
安装示例：
外形尺寸图：
一、产品定位
L10706 属于
VUV 光离子真空除静电光源（VUV Ionizer），和你之前查询的 L12542（大面积广角款）同属滨松真空制程静电消除产品线，定位为
近距离定点精准除电机型滨松光子学...。
核心特色：一体式不锈钢真空柔性波纹管 + ICF 真空法兰，可弯折伸入狭小真空腔体内部，针对晶圆局部、腔体深处、狭小工位定点消除静电，解决传统固定式光源照射死角问题。
整套由两部分组成：
L10706 光源头（柔性波纹管发光单元）：伸入真空腔、发射 VUV 紫外
配套专用电源控制器：AC 供电、点灯、TTL 外部控制、故障报警输出
二、核心结构与硬件优势
可弯折不锈钢柔性波纹管
波纹管总长 700mm，可任意弯曲走位，适配复杂腔体内部布局；末端小型出光头，可贴近工件近距离照射，实现定点精准除静电。
真空密封法兰
标准 ICF70 真空法兰，氦检密封，无漏气，可长期工作在高真空环境；波纹管内部带独立气冷通道，配套高压空气冷却灯头。
独立气冷散热结构
区别 L12542 整机风扇散热，L10706 灯头采用20~30L/min 高压干燥压缩空气直冷，抑制氘灯高温，避免真空腔热量堆积、烘烤基板 / 光刻胶。
窄光束定向照射
光束发散角极小，能量集中，近距离除电速度快，不会大范围照射周边精密元器件。
三、完整规格参数
1. 光学性能
内置光源：S2D2 紧凑型真空紫外氘灯
光谱区间：115 nm ~ 400 nm（MgF₂氟化镁窗口，透过 115nm 深真空紫外，电离能力强）
预热点灯时间：25±5 s
光稳定性：峰峰值波动≤0.05%；每小时漂移 ±0.3% 以内
额定保证寿命：1000h（230nm 光强衰减至初始 50% 判定寿命终止）hamamatsu....
光束照射范围（典型）：
距离 100mm：光斑 φ40mm
距离 250mm：光斑 φ80mm
距离 500mm：光斑 φ145mm
2. 电气参数
电源输入：单相 AC 100~240V 50/60Hz
整机*大功耗：200 VA
外部控制接口：DB9 串口，支持 TTL 启停、点灯状态反馈、过热 / 灯故障报警，可对接 PLC 上位机
灯头冷却气源：干燥洁净压缩空气，流量 20~30 L/min
3. 尺寸、重量与真空规格
柔性波纹管总长：700 mm，法兰规格 ICF70
光源控制盒尺寸：122×84.5×51.2 mm，净重约 120g
整套光源头重量：约 420 g
适用真空度：1×10⁻⁴ Pa ~ 常压，真空越低电离除电效率越高
4. 使用环境
工作温度：10 ~ 35 ℃
存储温度：-10 ~ 60 ℃
工作湿度：＜80% RH 无凝露
存储湿度：＜85% RH 无凝露
四、工作原理
电源预热氘灯灯丝 25s，内部高压触发点亮，输出 115–400nm 高能 VUV 真空紫外光；
光线通过柔性波纹管末端 MgF₂窗**入真空腔体；
高能光子电离腔体内微量残留气体，生成等量正负离子；
离子自由移动中和晶圆、基板表面静电，消除静电吸附、击穿风险。