授权代理HAMAMATSU/滨松VUV 光源单元
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本全球**光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置（你图中设备所属品类），激光器与光学仪器，整机检测设备。
授权代理HAMAMATSU/滨松VUV 光源单元
L12542 是大面积辐照型号，具有宽指向性（光分布）以及高稳定性和长寿命。
在我们的真空静电消除器产品系列中，L12542 具有高通用性，并且在广泛领域中具有良好的使用记录。L12542 可有效快速消除大型物体或多个物体上的静电电荷。
详细参数;
| 参数 | 描述 | 单位 |
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| 窗材 | MgF2 | － |
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| 光谱分布 | 115 至 400 | nm |
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| 预热时间 | 25 ±5 | s |
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| 光输出稳定性 | 波动 (p-p) | *大值 | 0.05 | % |
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| 偏差 | *大值 | ±0.3 | %/h |
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| 保证光源寿命 (*1) | 2000 | h |
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| 替换光源 | L12565 | － |
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| 真空法兰 | － (*2) | － |
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| 密封方法 | O 型圈 | － |
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| 泄漏量 | 1 x 10-10 Pa m3/s (*3) | － |
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| 输入电压（交流） | 100 V 至 240 V，单相 50 Hz / 60 Hz | － |
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| 功耗 | *大值 | 90 | VA |
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| 光源单元冷却方法 | 以风扇强制风冷 | － |
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| 工作温度范围 | +10 至 +40 | ℃ |
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| 储存温度范围 | 0 至 +60 | ℃ |
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| 工作湿度范围 | 低于 80%（无冷凝） | － |
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| 储存湿度范围 | 低于 85%（无冷凝） | － |
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| 外部控制 | 照射控制、照射信号、各种报错信号 | － |
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*1：寿命终止定义为 230 nm 的光输出低于其初始值的 50%，或光输出波动超过*大规格值。
请注意，光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况。
*2：L12542 可以与下列相关产品的真空法兰一起使用。
有关如何将真空静电消除器安装到真空设备上的信息，请联系我们。
*3：使用氦气泄漏探测器测量的结果。
特性
中和性能（典型值）
安装示例：
外形尺寸图：
电源单元（重量：约 1.8 kg）
一、产品定位
L12542 是
真空紫外 VUV 氘灯光源式真空静电消除器（VUV Ionizer），区别于你之前查询的 L10671 系列光谱分析氘灯，它主打
真空腔体内大面积光离子化除静电，专门用于半导体、面板真空制程，不靠气流、无离子针放电，依靠 115–400nm 真空紫外光电离真空环境内微量气体产生正负离子中和静电
hamamatsu....。
整套分为两部分：
L12542 光源头（氘灯照射单元）：真空法兰安装、发射 VUV 深紫外
配套专用电源控制器：供电、点灯、外部信号控制、状态反馈
二、核心产品优势
超大广角照射，除静电面积是普通 VUV 光源 9 倍
发光配光角度为传统机型 3 倍，单台即可覆盖大尺寸晶圆 / 基板，无需多台并联，降低设备成本。
真空环境专用，无需压缩空气
真空腔（10⁻²Pa 级别）内直接电离，无气流干扰，不会吹走晶圆微颗粒。
无过冲、无反向静电
光离子化均衡产生正负离子，不会出现传统离子风机正负电荷打过头的问题，保护超薄膜、OLED、光刻胶。
无粉尘、无电磁干扰
无电极放电、无针尖溅射粉尘，不污染真空腔体，无射频 EMI 干扰精密检测设备。
高光稳定性、长寿命
光输出波动极小，保证除静电效果长期一致。
三、完整硬件规格参数
1. 光学核心参数
内置光源：真空紫外氘灯
发射光谱：115 nm ~ 400 nm（MgF₂氟化镁窗口，透过深紫外真空紫外波段）
窗口材质：MgF₂晶体（耐真空紫外，无深紫外截止）
预热点灯时间：25±5 s（灯丝预热后才输出 VUV 光）
光输出波动（峰峰值）：≤0.05%
保证寿命：2000 h（光强衰减至初始 50% 判定寿命终点；连续稳定使用可达 6000h 以上）滨松光子学...
2. 电气与电源参数
3. 尺寸、重量、真空安装
光源头外形：φ60 mm × 长度 160 mm，出光窗口直径 26 mm
光源头净重：约 530 g
配套电源控制器：200×117×80 mm，重量 1.8 kg
真空法兰选配：ICF114 / JIS VF50 标准真空法兰，可直接锁在真空腔体外部，光源不伸入腔体内，不占用真空内部空间原田产业株...
4. 使用环境条件
工作温度：10 ~ +40 ℃
存储温度：0 ~ +60 ℃
工作湿度：＜80% RH，无凝露
存储湿度：＜85% RH，无凝露
四、工作原理
电源给氘灯灯丝预热 25s，内部高压触发点亮氘灯；
氘灯发射 115–400nm 真空紫外光，透过 MgF₂窗**入真空腔体；
VUV 光子电离腔体内微量残留气体分子，生成等量正、负离子；
离子自由移动中和晶圆、基板表面静电，消除静电吸附、静电击穿风险。