TOFCO东富科日本质量流量控制器
日本进口TOFCO东富科质量流量控制器 是一类高精度、高稳定性的流体控制设备，专为半导体、新能源、精密化工等对气体或液体流量控制要求严苛的工业场景设计，能够实现对质量流量的精准测量与闭环调节。
该系列控制器基于热式质量流量测量原理（Thermal Mass Flow），直接检测流体的质量流量（单位：g/min 或 SLPM），不受温度、压力变化影响，无需额外温压补偿，响应速度快、重复性高，适用于洁净气体（如氮气、氩气、氢气）及特定液体的**控制。
核心特性：
测量原理：采用MEMS热式传感技术，基于热传导与流速关系实现直接质量流量测量
控制精度：基本误差≤ ±0.5% FS，短期重复性可达 ±0.05% FS
响应时间：典型值≤ 1秒，满足快速工艺调节需求
材质配置：
流通部件：SUS316L不锈钢，符合高洁净与耐腐蚀标准
密封材料：FKM氟橡胶（FPM），耐高温、耐强酸碱及有机溶剂
工作参数：
*大流量范围：～1500 SmL/min（视型号而定）
工作温度：5～80℃（精度保证：15～50℃）
接口口径：支持 1/8"、1/4"、3/8" LOK/VCR 等多种标准接口
输出与控制：
支持 4-20mA 模拟输入/输出，可接入PLC实现远程设定与反馈
内置 PID 控制算法，支持自动调节与动态补偿
可选配 RS485 Modbus 通讯，便于系统集成与数据追溯
典型应用场景：
半导体制造中工艺气体（如SiH₄、NH₃）的**配比与输送
氢燃料电池系统中氢气流量的高精度控制
光伏与显示面板产线中特种气体的流量调节
实验室反应装置或微流控系统的稳定供气管理
TOFCO东富科日本质量流量控制器
·THP-CD系列、因为它的稳定性和可靠性被许多客户所认可能对应广泛的流量范围、可使用与多种行业领域。
·稳定性、高**度、高再现性。
·快速响应。
·实现了对应有毒以及腐蚀性气体的构造。
·具有坑电磁波干扰的功能。
构造图：
