SURUGA SEIKI舞台 高刚性 XY 直线滚珠滑台SURUGA SEIKI舞台 高刚性 XY 直线滚珠滑台
26 系列:标准厚度一体化 XY 滚珠平台,刚性、精度优于超薄 23 系列,双版本可选(银色通用 + 黑色光学防反光)
50:台面尺寸 50mm×50mm
BSS:不锈钢 + 无电解镀镍,银色通用款,耐酸碱耐磨
BSB:低温哑光黑铬处理,低反光,激光 / CCD 光学场景专用,抑制杂散光干扰
导向结构:哥特圆弧循环滚珠直线导轨,一体铣削底座,间隙极小
高刚性 + 1μm 级超高直线精度
一体化双层底座一体加工,哥特圆弧滚珠循环结构,力矩刚性强,长期锁定无漂移,适合长时间光路、探针稳定对位。
双表面工艺覆盖全场景
BSS 银色镀镍:通用自动化、实验室检测、弱腐蚀工况;
BSB 黑色黑铬:激光光路、显微 CCD、光谱仪器,杜绝反光造成成像杂斑。
丰富选配适配特殊工况
支持中心 / 侧边微分头、锁紧防滑、无尘洁净油脂、粗微双分头、隐藏丝杆驱动,适配狭小腔体、无尘半导体产线。
均衡行程与承载
±6.5mm 行程、14.7kg 额定负载,可搭载镜头、分光镜、晶圆样品、光纤耦合头、微型传感器。
光学领域:光纤耦合、激光器光路微调、分光镜 / 滤光片对位、光谱仪载台、显微物镜调整
半导体视觉:晶圆微观检测、CCD 相机对位、探针台辅助平移平台、微小元器件视觉定位
实验室精密仪器:微量样品定位、光学干涉仪微调、光谱测试设备
工业自动化:小型精密工装、传感器校准、微型点胶 / 喷涂精密定位