一、产品定位
EV‑SA 是 EBARA 荏原小型紧凑型、全风冷、免维护干式罗茨真空泵，为全系无需冷却水的干泵系列。主打 无水安装、极小体积、超低噪音、零维护、高性价比。
定位：洁净轻载通用型干泵，针对无粉尘、无高腐蚀、无大量固态副产物的精密真空场景。区别 ESR/EV‑M/EST 水冷重载机型，EV‑SA 无需配套水冷机组、无需铺设水路，是设备集成、实验室、分析仪器、小型量产设备的优选型。
全系满足 SEMI S2、CE、NRTL 认证，50/60Hz 频率下抽速、真空性能一致，*通用。
二、核心结构与核心技术亮点
采用多级非接触罗茨转子结构，纯无油干式设计，转子无磨损；轴承/齿轮腔体隔离，绝不污染工艺气体；整机一体化强制风冷，内置智能变频节能控制系统。
六大核心卖点（EV-SA 差异化）
1. 100% 风冷设计，无需冷却水
全系纯风冷散热，无需水冷机、无需管路、无需监控水温，解决现场无水、漏水、结露隐患，安装零门槛，适配设备内嵌、狭小机房、实验室场景。
2. 真正免维护、无耗材运行
非接触转子无磨损、无密封消耗件、无真空油、无油滤；原厂定义长期免保养运行，几乎无运维成本，适合常年连续运行、无人值守设备。
3. 智能怠速超低能耗
搭载自适应负载调速逻辑，保压/待机自动降速休眠，相比同级别干式/油式真空泵节能30%以上，长期使用电费优势明显。
4. 优异耐水汽、洁净抽气能力
针对空气、水汽、常规轻气体优化流道，水汽耐受能力优于普通风冷干泵；全无油结构，无油气返流，满足高洁净精密制程要求。
5. 超轻量、超低噪音振动
小型轻量化机身+精密动平衡转子，运行噪音极低、振动微小，适配精密检测、显微镜、光学镀膜等高静谧要求场景。
6. 简易智能控制与通讯兼容
自带本地控制与故障自诊断，支持远程启停、报警输出；可适配常规工厂通讯对接，操作简单、故障率极低。
三、EV-SA 全系标准参数表（原厂规格）
特性统一：风冷、无油、免维护、极限真空**、50/60Hz 通用
型号 | 额定抽速(L/min) | 极限真空(Pa) | 冷却方式 | 核心定位 |
|---|
EV-SA20 | 2000 | ≤1.0 | 风冷 | 微型主力、设备内嵌、实验室通用 |
EV-SA30 | 3000 | ≤1.0 | 风冷 | 中小型腔体、预抽、传输腔通用 |
EV-SA50 | 5000 | ≤1.0 | 风冷 | 风冷系列*大抽速、小型量产主泵 |
四、荏原四大干泵完整选型对比（EV-SA / ESR / EV-M / EST）
系列 | 冷却 | 结构 | 工艺等级 | 核心用途 |
|---|
EV-SA | 风冷 | 多级罗茨 | 轻载、洁净、无粉尘 | 仪器、检测、SEM、小型腔体、无水现场优选，免维护 |
ESR | 水冷 | 多级罗茨 | 中轻载、常规腐蚀 | Load-Lock、传输腔、通用量产、主打节能性价比 |
EV-M | 水冷 | 重载罗茨 | 中重载、腐蚀工艺 | 刻蚀、ALD、退火、氢气工艺、极限真空高 |
EST | 水冷 | 螺杆 | 重载、高粉尘 | CVD、MOCVD、高粉末、易结块沉积工艺 |
五、产品核心优势总结
安装极简：仅需电源，无需水冷、无需配套辅机，设备集成*友好机型
零运维成本：全无油、无耗材、无磨损结构，几乎无需停机保养
节能*：智能怠速休眠，低噪音低振动，适配精密洁净环境
洁净等级高：全干式隔离结构，无油气污染，满足半导体/光学精密制程
工况稳定：耐受常规水汽、轻微洁净气体，连续7×24h稳定运行
六、典型应用行业与工艺
1. 半导体/泛半导体
小型 Load-Lock 预抽、传输腔体、晶圆检测设备、外观检查机、离线真空测试、无粉尘预处理工艺。
2. 精密仪器与科研
SEM扫描电镜、TEM透射电镜、质谱分析设备、实验室真空腔体、精密真空测试平台。
3. 光电与显示
小型基板预抽、光学检测、真空贴合、无副产物精密蒸镀设备。
4. 工业精密制造
真空封装、真空检漏、精密脱泡、小型镀膜设备、自动化设备内置真空源。
七、可选选配
前置粉尘/水汽过滤器（保护泵体，延长寿命）
外部声光报警模组
远程启停与信号反馈模块
防震脚垫、集成安装支架
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