SURUGA SEIKI 蜗轮蜗杆 360 电动旋转台SURUGA SEIKI 蜗轮蜗杆 360 电动旋转台
KRW:Worm Gear 蜗轮蜗杆传动全周 360° 连续旋转台系列
06:台面规格 φ59mm 圆形 / 60×60mm 方形平台
360:行程 0~360° 无限制连续回转,支持无限圈扫描
后缀规则(完整型号例:KRW06360M-LC-C)
M:电机横向侧出(面板嵌入式主流款)
T:电机顶部立式向上出线
LC/LEA/LG:接头线缆;C:2m 单端散线;J:4m 高柔机器人线缆
V:无电机裸台,客户自配伺服 / 步进
Z:洁净 / 低粉尘润滑规格
对比 KRB 滚珠丝杠台:KRB 仅 ±5.5°/±8.5° 小幅往复;KRW06360 可 360° 无限旋转、自带 φ30 中心通光通孔,激光、偏振光路、晶圆全周对位专用
蜗轮自锁结构:断电停机后台面不会因负载自重自转,无需电机持续励磁锁止
内置单光电原点传感器 + 机械限位,上电自动寻零,防止超程撞击
大台面 + 高分辨率
φ59 大平台适配重型光学镜头、晶圆治具;1:180 大减速比,角度细分精度优于 KRW04360,偏振光谱高精度扫描优选。
中空通光一体化结构
激光束、光纤、布线可从转盘中心贯穿,无需绕线干涉,椭偏仪、干涉仪、偏振测试设备标配。
蜗轮机械自锁,节能**
停机断电自动锁死台面,长时间静置无漂移,无需电机持续通电保持角度。
高刚性抗偏心负载
整体加宽底座,俯仰 / 偏航刚性达 0.84 角秒 / N・cm,偏心放置镜片、晶圆仍能保证定位精度。
多电机总线方案全覆盖
标准五相步进低成本;αSTEP 闭环杜绝丢步;EtherCAT 总线适配半导体自动化多轴联动产线。
光学专用低反光处理
黑色哑光阳极氧化,光路内部无杂散光反射,消除测量背景误差。
光学 / 激光精密测量
椭偏仪、光谱仪偏振片 360° 扫描、光纤耦合角度校准、干涉仪光路旋转、波片 / 相位延迟片测试;
半导体检测设备
晶圆全周角度对位、Mini LED 光学检测、芯片 360° 外观缺陷扫描;
机器视觉自动化
工业相机**旋转成像、玻璃盖板、屏幕全角度外观检测;
实验室精密仪器
材料透射 / 反射光学测试、显微镜载物台全周角度调节;
光学元件装配
镜片、偏振镜、分光镜旋转贴合校正工位。