SURUGA SEIKI自动舞蹈 双轴测角仪滚珠丝杠
SURUGA SEIKI自动舞蹈 双轴测角仪滚珠丝杠
一、产品系列定位
KAB07 是骏河精机70mm 台面滚珠丝杠驱动双轴一体式测角台，同属 KAB 高精度滚珠丝杠双轴系列，与 KAB06（60 台面）为兄弟机型；整机一体式双轴俯仰 + 偏摆共旋转中心，主打大承载台面、极低背隙、连续扫描高精度，全系标注计划停产，存量替换项目专用。
型号命名规则（标准完整型号示例：KAB07070AM-LC）
KAB：滚珠丝杠双轴测角仪系列
07：70×70mm 台面规格代号
070/096/122：旋转中心高度 70/96/122mm 三档
A/M：标准 5 相步进电机；M-HR 高分辨率 5 相电机
L/R：电机左侧 / 右侧安装
C/G/H/J：线缆规格（长度、连接器、耐弯折机器人线）
后缀 A/B：2m 裸线、2m 双接头、4m 长线区分
二、核心结构与产品优势
φ6 预紧滚珠丝杠传动，极低背隙、运动顺滑
导程 1mm 循环钢珠预紧结构，传动间隙极小，匀速扫描无抖动、启停响应快；无机械自锁，断电角度会偏移，适合持续通电自动化扫描场景，不适合长期静态定点观测骏河精机科...。
全行程交叉滚柱双导轨，高刚性低跳动
上下双轴均搭载交叉滚柱导向，抗倾覆力矩强；回转中心径向跳动≤0.01mm，大尺寸晶圆、镜头放置无倾斜形变。
70×70mm 加宽台面，适配大尺寸样品
对比 KAB06（60 台面）承载面积更大，可放置 8 寸小晶圆、大口径分光镜、光学镜头模组、定制真空治具，台面密布 M4 标准安装螺纹孔，拓展性更强。
三档旋转中心高度全覆盖光路
70mm（通用标准光路）、96mm（中高镜头）、122mm（立式长焦距 / 椭偏仪高光路），统一台面规格，多设备光路兼容选型简单。
一体式同轴双轴，省去拼接误差
俯仰、偏摆共用同一旋转中心，光路双角度调节无偏心偏移；相比两台单轴 KG/KG07 拼接，体积更小、同轴精度更高、调试工作量少。
高精度重复定位，适配光谱 / 薄膜检测
标准电机重复定位≤±0.003°，高分辨率 HR 版本可达 ±0.001°，背隙控制≤0.003°，优于蜗轮蜗杆双轴 KAW/KA 系列，适合连续角度扫描采集数据。
白色阳极铝合金机身
区别 KAB06 黑色阳极，白色外观耐脏易观察；轻量化一体铸铝，防锈耐磨，整机约 1.94kg，适合多轴堆叠搭建六维调整平台。
独立限位 + 原点光电传感
每轴独立硬件限位 + 中心原点感应，DC5~24V 通用信号，支持自动回零、PLC 联动、自动化循环测试。
三、三档主流型号核心技术参数
1）KAB07070（中心高 70mm，通用标准款）
| 参数项目 | 标准规格 |
|---|
| 载物台面 | 70×70 mm |
| 上轴（俯仰）行程 | ±5° |
| 下轴（偏摆）行程 | ±4° |
| 额定负载 | 4 kgf（39.2 N） |
| 驱动机构 | φ6 滚珠丝杠，导程 1mm |
| 导向 | 交叉滚柱导轨 |
| 台面基准高度 | 52±0.4 mm |
| 旋转中心高度 | 70±0.4 mm |
| 标准电机重复定位 | ≤±0.003° |
| 高分辨 HR 电机重复定位 | ≤±0.001° |
| *大运动速度 | 上轴 14.1~22.6 °/s；下轴 11.2~16.9 °/s |
| 整机重量 | 约 1.94 kg |
| 台面安装螺纹 | M4 沉头孔 |
| 材质 | 铝 白色硬质阳极氧化 |
2）KAB07096（中心高 96mm，中高光路）
3）KAB07122（中心高 122mm，超高光路专用）
四、电机、线缆与配套控制器选配
1. 电机选型
M：标准 5 相增量步进（常规光学检测，性价比）
M-HR：高分辨率 5 相步进（光谱扫描、薄膜测厚、干涉仪高精场景）
AR：αStep 增量编码电机，运行震动更低、定位平稳
AZ：αStep **值编码，上电无需回零，自动化流水线优选
定制：EtherCAT 总线伺服、三菱 / 松下交流伺服（高速产线）
2. 线缆代码区分
3. 适配控制器
DS102 单轴控制器、DS112 双轴专用控制器、DS2000A 多轴联动控制器，支持双轴同步角度扫描、点位程序、循环角度测试。
五、典型应用场景
光学精密测试
椭偏仪薄膜厚度检测、干涉仪光路双维度对准、光谱多角度连续扫描、大口径棱镜 / 分光镜倾角校正、光纤激光耦合对位。
半导体晶圆检测
6/8 寸 Wafer 外观缺陷检测、SiC 碳化硅器件光学耦合、芯片模组双角度姿态补偿、光学封装耦合工位。
精密视觉测量设备
3D 激光轮廓扫描、机器视觉大镜头姿态微调、大面积元器件双角度外观检测。
高校科研实验室
光电材料反射 / 透射多角度变量实验、偏振光学平台、显微系统双轴倾角调节。