SURUGA SEIKI自动舞蹈 滚珠丝杠式双轴电动
SURUGA SEIKI自动舞蹈 滚珠丝杠式双轴电动
一、产品系列定位
KAB06 是骏河精机滚珠丝杠驱动一体式双轴电动测角台（2 轴 Goniometer），区别蜗轮蜗杆双轴 KAW 系列，采用φ6 精密滚珠丝杠传动，双轴独立倾角调节（俯仰 + 偏摆），台面统一 60×60mm，主打超高重复定位、极小背隙、高速响应；多档旋转中心高度 50/75/100mm 可选，适配光学光路、晶圆检测、椭偏仪、激光耦合双维度角度校正；标注该系列计划停产，为精密光学存量替换 / 项目定型专用型号。
完整型号命名规则（例：KAB06050M-LC）
KAB：滚珠丝杠式双轴测角仪系列
06：60mm 台面规格代号
050/075/100：旋转中心高度 50/75/100mm
M：标准 5 相步进电机；M-HR 为高分辨率 5 相电机
L/R：电机安装左侧 L / 右侧 R
C/G/H/J：线缆规格（长度、接头、耐弯折）
后缀 A/B 等：2m 裸线、2m 连接器、4m 机器人线缆选配
二、核心结构与差异化优势（对比蜗轮蜗杆 KAW 双轴）
滚珠丝杠传动，背隙极低、响应更快
驱动单元 φ6 滚珠丝杠，导程 1mm，循环钢珠预紧结构，空程远小于蜗轮蜗杆；启停无滞后、扫描匀速性强，适合光谱连续角度扫描、高速自动化对位；缺点无自锁，断电角度会偏移，需持续电机锁止。
交叉滚柱全行程导向，高刚性低跳动
上下双轴均搭载交叉滚柱导轨，承载均匀、抗倾覆力矩强；回转中心径向跳动≤0.01mm，4.5kg 满载下形变极小，适合堆叠搭配 XYZ 线性滑台组成六维调整平台。
一体式双轴结构，同轴旋转中心
俯仰、偏摆共用同一旋转中心，光路对准无偏移，无需二次校正；单台集成双轴，相比两台单轴 KG/KGW 拼接，体积更小、同轴精度更高。
超高重复定位精度
高分辨率电机版本重复定位精度 **≤±0.001°**，标准电机≤±0.003°，优于蜗轮蜗杆测角台 ±0.005° 规格，适配干涉仪、薄膜测厚等高精光学场景。
多档旋转中心高度覆盖全光路
50mm（低矮光路）、75mm（通用标准）、100mm（高镜头 / 长焦距设备）三档，统一 60mm 大台面，可放置晶圆、分光棱镜、光学镜头等中等尺寸样品。
全闭环限位原点传感
每轴独立左右硬件限位光电 + 中心原点传感器，DC5~24V 通用信号，支持自动回零、PLC 自动化循环测试。
轻量化铝合金机身
主体航空铝黑色硬质阳极氧化，防锈耐磨；台面密布 M3 标准安装螺纹孔，兼容光学镜架、真空吸附载台、晶圆治具。
三、主流标准型号核心技术参数
1）KAB06050（中心高 50mm，常用标准款）
| 参数项 | 规格数值 |
|---|
| 载物台面 | 60×60 mm |
| 上轴行程（俯仰） | ±8.5° |
| 下轴行程（偏摆） | ±5.5° |
| 额定负载 | 4.5 kgf（44.1 N） |
| 驱动机构 | φ6 滚珠丝杠，导程 1mm |
| 导向 | 交叉滚柱导轨 |
| 台面高度 | 50±0.4 mm |
| 旋转中心高度 | 50±0.4 mm |
| 高分辨重复定位 | ≤±0.001° |
| 标准电机重复定位 | ≤±0.003° |
| *大速度（上轴） | 13.7~31.4 °/s |
| *大速度（下轴） | 11.0~21.5 °/s |
| 标配电机 | 5 相 0.72° 步进电机 |
| 整机重量 | 约 1.1 kg |
| 材质 | 铝 黑色阳极氧化 |
2）KAB06075（中心高 75mm，通用中光路）
3）KAB06100（中心高 100mm，长高光路专用）
四、电机、线缆与配套控制器选配
1. 电机选型
M：标准 5 相增量步进（性价比常规检测）
M-HR：高分辨率 5 相步进（光谱、干涉、薄膜高精测试）
AR：αStep 增量编码电机，运行平稳、震动更低
AZ：αStep **值编码，上电无需回零（产线自动化）
定制：EtherCAT 总线伺服、三菱 / 松下交流伺服（高速流水线）
2. 线缆代码区分
3. 适配控制器
DS102（单轴）、DS112（双轴专用，推荐）、DS2000A（多轴联动）步进控制器，可实现双轴同步角度扫描、点位程序、角度循环测试。
五、典型应用场景
光学精密测试
椭偏仪薄膜测厚、干涉仪光路对准、光谱仪角度扫描、棱镜 / 分光镜双维度倾角校正、激光光纤耦合对位。
半导体晶圆检测
6/8 寸 Wafer 外观缺陷检测、SiC 碳化硅器件光学耦合、芯片引脚共面度双角度补偿、光学封装耦合工位。
精密视觉测量设备
3D 激光扫描、轮廓检测仪、机器视觉镜头姿态微调、微型元器件双角度外观检测。
科研实验室
光电材料反射 / 透射多角度变量实验、显微系统双轴倾角调节、偏振光学实验平台。