Toyo Tanso东洋炭素 高密度细晶粒等静压
Toyo Tanso东洋炭素 高密度细晶粒等静压
一、产品定位与工艺核心
ISO 是东洋炭素
**精密超细颗粒等静压石墨,定位高于 IG 通用系列、ISEM 精密系列,为
超精密镜面 EDM、单晶长晶炉、半导体超高洁净热场、硬质合金热压模具专用基材。
采用
4μm 以内超细石油焦微粉 + 多重沥青高压浸渍 + 高温高纯石墨化冷等静压成型,晶粒均匀致密、闭孔率极低、机械强度、镜面放电、低杂质三大指标拉满,是模具、光伏单晶、第三代半导体 SiC 材料。
ISO 系列全系通用核心优势
超细晶粒≤4μm,镜面放电
晶粒远细于 ISEM(7~10μm)、IG(7~20μm),EDM 精加工可达Ra0.4μm 镜面,0.05mm 超薄筋、微小型腔、深微孔加工不崩角、不掉渣,火花纹均匀细腻,适合光学透镜、医疗精密模具、连接器微型型腔。
超高密度 + 强力学性能,高温不变形
多次浸渍填充内部孔隙,密度≥1.82g/cm³,抗折 73~76MPa、抗压 172MPa,冷热循环、长期高温蠕变极小,热压烧结模具、单晶炉高温结构件长期尺寸稳定。
各向同性,三维性能无偏差
X/Y/Z 热膨胀、导电、强度一致,电极放电损耗均匀;单晶炉温场无局部温差,硅片少子寿命波动极小。
低灰分、低真空放气,高纯洁净
基础款灰分<20ppm,酸洗提纯后灰分<5ppm,高温无金属杂质析出,杜绝晶圆、硅片、光学镜片污染,适配 CZ 单晶、SiC 长晶、半导体扩散炉严苛洁净工况。
优异抗热震、耐高温
真空 / 惰性气氛 2800℃稳定使用;低热膨胀系数,快速升降温不开裂;自润滑、耐酸碱、不浸润熔融硅与金属。
超高加工精度
可五轴铣削、研磨、线切割,加工公差 ±0.003mm,适配光学、半导体微型精密治具。
二、ISO 全系列型号、关键参数与细分定位
1. ISO-63(旗舰超细高强度,行业用量*大型号)
核心参数:平均晶粒 4μm,密度 1.86g/cm³,肖氏硬度 70~80HSD,电阻率 14~15.5μΩ・m,抗折 76MPa,抗压 172MPa,热导率 70W/m・K
定位:超精密 EDM 镜面电极、单晶炉核心热场、硬质合金热压模具主力牌号
适配工况:
EDM:光学透镜模具、医疗精密塑胶模、连接器微型型腔、镜面抛光放电、硬质合金加工电极;
光伏单晶:CZ 直拉硅单晶炉导流筒、加热器、热屏、籽晶夹、坩埚托(182/210 大尺寸硅片量产标配);
高温工装:硬质合金 / 陶瓷热压烧结模具、粉末冶金精密模具;
半导体:SiC 长晶炉保温筒、离子注入精密载具。
核心优势:强度、密度、光洁度均衡拉满,兼顾放电性能与高温结构稳定性,场景通用优选。
2. ISO-68(高纯均衡超细款,洁净制程专用)
3. ISO-88(经济型超细 ISO,性价比 EDM)
三、三大核心行业精准选型指南
(一)精密 EDM 放电加工(光学 / 医疗 / 连接器模具)
超镜面、微型薄壁、硬质合金精加工、量产光学模 → ISO-63
超高洁净无杂质要求(医疗植入件、光学镜片)→ ISO-68
中小型精密外观模、精细骨位、控制材料成本 → ISO-88
(二)光伏单晶 / 碳化硅长晶高温热场
CZ 直拉单晶硅炉核心发热体、导流筒、热屏(量产主线)→ ISO-63
SiC 碳化硅长晶、第三代半导体外延设备、超高洁净单晶产线 → ISO-68
单晶炉隔热辅件、小型实验长晶炉 → ISO-88
(三)半导体 & 高温热压工装
硬质合金、陶瓷热压模具、重载高温结构件 → ISO-63
MOCVD、扩散炉高纯石墨舟、晶圆承载盘 → ISO-68
中小型真空热处理精密载具 → ISO-88