MIYUKI美幸辉 B-I 系列 气动真空蝶阀MIYUKI美幸辉 B-I 系列 气动真空蝶阀
B:标准单气缸两位气动蝶阀,仅 ** 全关 0°/ 全开 90°** 两档位,管路通断切断专用
**位 I:代表ISO 标准大口径法兰(欧标真空法兰,设备行业通用 ISO-F 大法兰)
数字:公称通径 DN25/40/50/63/80/100/160/200/250/300/400A
B-I:两位气动开关蝶阀(基础通断)
BH-I:双气缸两段式气动蝶阀(慢抽 + 全开双开度)
BAR-I / BAZ-I:伺服电动调节蝶阀(搭配 MGCS 控制器精密稳压)
BL-I:多点位可编程伺服蝶阀(14 档阀位定位)
ISO-F 标准大法兰,适配欧美 / 大型国产真空设备
法兰开孔尺寸通用国际真空 ISO 规范,兼容进口大型镀膜机、连续式真空炉大主管,螺栓锁紧固定,长期负压无变形、不漏气。
超薄阀体,超大流导抽速
同口径阀体厚度远薄闸阀,真空抽气阻力极低,大幅缩短大型腔体预抽时间;无介质流向限制,水平、垂直、倒置任意角度装配。
氦检级超低密封泄漏
蝶板内漏:≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
阀杆轴封外漏:≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
满足半导体、光学镀膜严苛氦检漏标准,长时间保压无渗漏。
无尘低发尘结构
阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢镜面电解抛光,原厂无尘车间组装;无内部摩擦滑动部件,晶圆、光学膜等高洁净制程无颗粒污染风险。
缓冲长寿命气动气缸
齿轮齿条驱动,气缸内置气垫缓冲,启闭无冲击、低噪音;标准启闭寿命≥100 万次,适配产线高频循环工况。
PLC 联动到位反馈
标配内置微动开关(NPN/PNP 可选),实时输出阀门全开 / 全关到位信号,直接对接设备 PLC 做**联锁保护。
多密封耐腐蚀选配
标准 FKM 氟橡胶 O 圈;卤素、酸碱等离子腐蚀工艺可升级Kalrez 全氟醚密封,耐高温耐化学侵蚀。
B-I(基础款)
单气缸两位开关,仅全开 / 全关;用于分子泵隔离阀、腔体总隔断、普通主抽管路,性价比高。
BH-I(两段缓抽款)
双气缸三动作:全关→45° 慢抽→90° 全开;腔体缓慢抽真空 / 破真空,防止膜材、电解液飞溅,无需额外旁路针阀。
BAR-I(电动调节款)
伺服电机 0~90° 连续开度,搭配 MGCS/MS-VP 压力控制器,真空闭环精密稳压,用于镀膜分段控压、载气流量调节。
BT-I(手动款)
无气缸手动手柄驱动,实验室简易真空管路手动切断。
光学卷绕镀膜
宽幅 AR 膜、偏光片、ITO 导电膜连续镀膜机主抽阀、大腔体破空阀、靶室隔离阀。
锂电新能源
大型连续真空烘烤炉、卷绕注液真空腔体、隔膜大流量真空脱泡主管路隔断。
半导体量产设备
大型 PVD/CVD 腔体、面板镀膜线、大口径分子泵前端总隔离阀。
热处理 / 光伏
真空退火炉、光伏玻璃镀膜生产线、大型氦检设备主抽切断。
进口成套真空设备配套
欧美品牌真空炉、溅射设备原厂 ISO 法兰管路替换备件。