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ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵
产品型号：VS750B
产品品牌：ULVAC爱发科真空技术
产品介绍：

ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵
ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵

VS650B 和 VS750B 型号均为旋片式（单级）真空泵。它们可选配风冷或水冷，并可与机械增压泵配合使用，实现更高的排量。
此外，它们还内置油雾分离器和回油机构，确保长期稳定的排气性能。设计上也充分考虑了维护的便捷性，包括更换机油和滤芯。

    特征

    • MBP 安装套件允许直接安装
      机械增压泵 (MBP)，无需单独的安装框架。

    • 温控器是标准配置
      。通过温控器，可以检测泵内异常温度升高，并在油位下降或泵发生故障时通知您。

    • 大容量油箱
      内置油雾过滤器：大容量油箱（油箱容量：23-30升）减少了换油频率。
      油箱内置易于更换的滤芯式油雾过滤器。
      油雾过滤器收集的油会自动返回油泵。
      该过滤器可去除可能混入油中的灰尘。

    目的

    • 光学薄膜沉积装置

    • 反射层沉积装置

    • 用于装饰目的的气相沉积装置

    • 薄膜卷绕和气相沉积装置

    • 在线溅射系统

    • 烘烤炉/热处理炉

    • 冻干设备

    • 泄漏测试装置

    • 太空舱

    规格

    模型VS650B-AVS650B-WVS650B-WL *1VS750B-AVS750B-W
    设计排气速度50赫兹立方米/小时（升/分钟）650 (10,833)600（10,000）750 (12,500)
    60赫兹750 (12,500)我不会开车。
    极限
    压力    		全科医生已关闭宾夕法尼亚州≤ 8
    全科医生诊所开业≤ 70
    功耗
    （目标压力下）    		50赫兹千瓦811
    60赫兹11-
    发动机模型全封闭风冷式三相感应电机
    容量千瓦
    （极）    		22(4)
    电压50赫兹V200-240 / 380-415
    60赫兹200-240 / 380-460
    噪音等级*2
    （*大压力下）    		50赫兹分贝757280
    60赫兹80-
    石油SMR-200
    所需油量L23-2725-3023-2725-30
    冷却方法空冷式水冷空冷式水冷
    冷却水一次压力兆帕-≤0.5-≤0.5
    进出口压差-≥0.1-≥0.1
    冷却水量升/分钟-≥3.0-≥3.0
    冷却水温度℃-5-30-5-30
    冷却水 Δt-≤60-≤60
    进气法兰DN 100 ISO-K
    排气口法兰DN 100 ISO-K
    大量的公斤大约820
    外部尺寸（宽×深×高）毫米1490 x 905
    x 705    		1490×841×7051490 x 905
    x 705    		1490×841
    ×705
    海外**标准-

    注：本文档采用国际单位制（SI）。
    *1 VS650B-WL 要求规格为 50Hz/60Hz。通过更换电机皮带轮，可在 50Hz/60Hz 下实现相同的排气速度。
    *2 这是根据 ISO2151 标准测量和计算的平均声压级。

    排气速度曲线

    • VS650B/VS750B

    ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵

    • PMB2400D + VS650B、VS750B

    ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵





    尺寸图

    • VS650B/VS750B

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