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ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵
产品型号：VS1501
产品品牌：ULVAC爱发科真空技术
产品介绍：

ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵
ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵

VS1501 和 VS2401 型号均为旋转式（单级）油润滑旋转真空泵。水冷和强制润滑确保即使在高负荷下也能保持稳定的排气性能。
此外，该设计还融入了便于维护的功能，例如大型油位计。
ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵

特征

  • 采用水冷和强制润滑，
    即使在高负荷运行期间也能确保气缸得到充分的润滑油供应，与差压润滑系统相比，排气性能更加稳定。

  • 液压油防回流系统
    可防止泵停止运行时油从油箱回流到进油侧。

  • 该设备在设计时充分考虑了维护的便利性，
    配备了大型油位计，方便监测油况，以及用于清洗油箱和更换排气阀的维护盖。

目的

  • 光学薄膜沉积装置

  • 反射层沉积装置

  • 用于装饰目的的气相沉积装置

  • 薄膜卷绕和气相沉积装置

  • 在线溅射系统

  • 烘烤炉/热处理炉

  • 冻干设备

  • 泄漏测试装置

  • 太空舱

规格

模型VS1501VS2401
设计排气速度50赫兹立方米/小时（升/分钟）150 (2500)240（4000）
60赫兹180 (3000)288 (4800)
极限压力全科医生已关闭宾夕法尼亚州≤ 5.3
全科医生诊所开业≤ 80
功耗（目标压力下）50赫兹千瓦2.32.8
60赫兹2.93.6
发动机模型全封闭风冷式三相感应电机
容量千瓦（极）5.5 (4)7.5 (4)
电压50赫兹V200-240 / 380-415
60赫兹200-240 / 380-460
噪音等级*1（*大压力下）50赫兹分贝6773
60赫兹6773
石油SMR-200
所需油量L8-10.5
冷却方法水冷
冷却水一次压力兆帕≤0.5
进出口压差≥0.1
冷却水量升/分钟≥4.0≥5.0
冷却水温度℃5-30
冷却水 Δt≤10
进气法兰相当于 VG80
排气口法兰相当于VG50
大量的公斤232271
外部尺寸（宽×深×高）毫米300×941×460333×1061×460
海外**标准-
注：本文档采用国际单位制（SI）。
*1 这是根据 ISO2151 测量和计算的平均声压级。

排气速度曲线

  • VS1501、VS2401

ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵

尺寸图

  • VS1501、VS2401
    ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵