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ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵
产品型号：VS300A-W
产品品牌：ULVAC爱发科真空技术
产品介绍：

ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵
ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵

VS300A-W 型是一款旋片式（单级）油封旋转真空泵。它是同类产品中占地面积*小的，可直接安装在机械增压泵上。该泵还内置油雾分离器和回油机构，确保长期稳定的排气性能。此外，其设计优先考虑了维护的便捷性，包括更换机油和滤芯。

    特征

    • 它采用紧凑型设计，占地面积是同类产品中*小的：
      □874×404mm。


    • MBP 安装套件允许直接安装机械增压泵 (MBP) ，无需单独的安装框架。

    • 它还内置了油回收机制和油雾分离器。

    • 该结构的设计旨在防止油液泄漏到外部。
      两级油封和带防护罩轴承系统可防止油液泄漏到外部。

    • 该电机配备了原装IE3高效多电压电机
      ，单个电机即可处理各种电压。

    目的

    • 光学薄膜沉积装置

    • 反射层沉积装置

    • 用于装饰目的的气相沉积装置

    • 薄膜卷绕和气相沉积装置

    • 在线溅射系统

    • 烘烤炉/热处理炉

    • 冻干设备

    • 泄漏测试装置

    • 太空舱

    规格

    模型VS300A-W
    设计排气速度50赫兹立方米/小时（升/分钟）250 (4,166)
    60赫兹300（5,000）
    极限压力*1全科医生已关闭宾夕法尼亚州≤15
    全科医生诊所开业≤200
    功耗（目标压力下）50赫兹千瓦2.8
    60赫兹3.1
    发动机模型全封闭风冷式三相感应电机
    容量千瓦（极）7.5 (4)
    电压50赫兹V200-240 / 380-415
    60赫兹200-240 / 380-460
    噪音等级* 2（极限压力下）50赫兹分贝70
    60赫兹74
    石油SMR-200
    所需油量L10-15
    冷却方法水冷
    冷却水一次压力兆帕≤0.3
    进出口压差≥0.1
    冷却水量升/分钟≥3.0
    冷却水温度℃5-30
    冷却水 Δt≤25
    进气法兰DN 63 ISO-F
    排气口法兰G2
    大量的公斤270
    外部尺寸（宽×深×高）毫米404×871×585
    海外**标准CE、cTUVus

    注：本文档采用国际单位制（SI）。

    *1 当达到极限压力（GP关闭）时，允许缓慢泄漏。关闭慢漏阀后，压力将≤8 Pa。
    *2 这是根据ISO2151测量和计算的平均声压级。


    排气速度曲线

    • VS300A-W
      ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵

    • VS300A-W + PMB1200DULVAC爱发科 油封式旋转真空泵