Name: ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 LR系列
Brand: ULVAC爱发科真空技术
SKU: LR1800

主营产品：代理销售：OTSUKA大塚电子膜厚仪、HORIBA堀场椭圆偏振光谱仪、HITACHI日立科学仪器光谱仪、MIKASA米卡萨显影机、KOSAKA小坂台阶仪、TSUBOSAKA壶坂电机、yamada山田卤素强光灯、DENSOKU电测、日本SSD防静电、大日本科研DNK、SIBATA柴田科学、TOFCO东富科流量计、CEDAR思达扭力计、TORAY东丽气体浓度计、KYOWA共和电业、TOKYOKEISO东京计装流量计、AND爱安德、HAMAMATSU滨松光子、IMV爱睦威地震仪、EMIC电子磁气工业、日本KURABO仓纺浓度计、IWAKI易威奇、REVOX光箱、SAN-EITECH三英点胶机等

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ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵 LR系列

产品型号：LR1800

产品品牌：ULVAC爱发科真空技术

产品介绍：

ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵 LR系列诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

详细介绍

ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵 LR系列
ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵 LR系列

通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，也适用于排出电荷**室中的气体，缩短排气时间对于提高吞吐量至关重要。

特征

除了适用于低温范围内的均质化 PVD 工艺（型号：LR）外
，它还非常适合用于充放电室的排气，其中减少排气时间对于提高吞吐量尤为重要。
它配备了氦气密封
罐式电机，其密封结构使其极其**。
我们已采取措施防止出现持续时间不超过 1000 毫秒的瞬时断电。
**的耐腐蚀性
：关键部件均采用特殊表面处理工艺，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性。这可有效减少泵在排出腐蚀性气体时的内部腐蚀。
通信功能
允许您读取与泵的运行状态和警告/报警历史记录相关的数据。借助专用软件，可以通过计算机通信实现集中监控。

目的

薄膜沉积设备（溅射设备/蒸发设备等）
缩短准备和移除室的排气时间。
作为辅助排气泵（用于涡轮分子泵和机械增压泵）

规格

模型			LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
*大排气速度	50赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	62 (1030)	112 (1860)	183 (3100)	440 (7333)
	60赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	80 (1333)	126 (2100)	237 (3950)	440 (7333)
极限压力			5.0 帕
*大进气压力（进气压力）			气压
*大排气压力（排放压力）			1帕 ≈ 大气压
进气口（CE规范）			VG50 (KF50)	VG80 (KF50)		VG100
排气口			KF40			VG50
大量的		公斤	180	245	335	415
电力 *1	三相	交流电（赫兹）	200 (50/60), 220 (60)			180~240 / 380~440 (50/60)
当前值	稳定状态	一个	6.9（200V时）	11.2（200V时）	18.9（200V时）	20.8（200V时）
	*大值	一个	7.3（200V时）	11.8（200V时）	20.6（200V时）	48.5（200V时）
冷却水一次压力		兆帕	0.1~0.3			0.2~0.5
冷却水进/出口压差		兆帕	>0.1			>0.2
冷却水流量		升/分钟	>5.0			>4.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
N2吹扫	轴	空间光调制	5
	加斯巴拉	空间光调制	0-45			没有任何	0-45

*1 请在订购时注明。

模型			LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T(TT)	LR3601-R	LR3601-TR(TTR)
泵		DRP	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
		MPB	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C(-T)	PRC-036D	PRC-036D(DT)
*大排气速度	50赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	359 (5,980)	653 (10,900)	1,012 (16,900)	1,701 (28,350)	3,200 (53,333)
	60赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	365 (6,080)	701 （11,700）	10.51亿（17500）	1,784 (29,700)	3,200 (53,333)
极限压力			0.67 帕
*大进气压力（进气压力）			气压
*大排气压力（排放压力）			1帕 ≈ 大气压
进气口（CE规范）			VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排气口			KF40				KF50
MBP表面处理			〇 *2	〇 *2	〇 *2	〇 *2	×	T:× TT:×	×	TR：× TTR：○
大量的		公斤	275	370	420	545	660	720	660	720
电力 *3	三相	交流电（赫兹）	200 (50/60), 220 (60)				180~240 / 380~440 (50/60)
当前值	稳定状态	一个	7.0 （200V时）	12.3 （200V时）	13.7 （200V时）	21.4 （200V时）	31.0（200V时） 20.5（400V时）		35.4（200V时） 20.5（400V时）
	*大值	一个	9.6 （200V时）	19.0 （200V时）	24.2 （200V时）	39.8 （200V时）	58.4（200V时） 40.5（400V时）		82.0（200V时） 40.5（400V时）
冷却水一次压力		兆帕	0.1~0.3				0.2~0.5
冷却水进/出口压差		兆帕	>0.1		0.1~0.3		0.2~0.5
冷却水流量		升/分钟	>5.0				>4.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
N2吹扫	轴	空间光调制	5
	加斯巴拉	空间光调制	0-45				无 *4	0-45	无 *4	0-45