产品类目
所在位置: 首页 > YAMAMOTO-MS山本鍍金
YAMAMOTO-MS山本鍍金 智能烧杯电镀槽
产品型号：A-56-0500G
产品品牌：YAMAMOTO-MS山本鍍金
产品介绍：

YAMAMOTO-MS山本鍍金 智能烧杯电镀槽诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

YAMAMOTO-MS山本鍍金 智能烧杯电镀槽YAMAMOTO-MS山本鍍金 智能烧杯电镀槽

一、产品简介

A-56 Smart Cell 是桌面烧杯式微量智能电镀实验槽，承接 A-53-M 微型槽、A-52-ST 晶圆杯槽的小样试验机型，主打磁力自循环溢流 + 恒定液面，分W 亚克力款、G 高硼硅玻璃款两大材质，容量500mL/1000mL两规格，半导体药水研发、添加剂筛选、晶圆切片 / 小试样单面 / 双面电镀专用，适配搭配A01~A28 镀液化学滴定套装做药水理化检测，贵金属镀金、钯、锡银凸点优选机型。
完整型号：A-56-0500W、A-56-1000W（亚克力）；A-56-0500G、A-56-1000G（玻璃耐高温）。

二、规格参数

型号容积槽体材质适配试样夹具适配温控搅拌
A-56-0500W/G500mLW: 透明亚克力；G: 高硼硅玻璃10×15mm 小片、晶圆碎料恒温磁力搅拌器
A-56-1000W/G1000mLW: 透明亚克力；G: 高硼硅玻璃10×15mm/30×30mm 方片、半片晶圆加热型磁力搅拌台
* 玻璃 G 款兼容离子液体、强腐蚀特殊镀液，耐温更高；亚克力 W 款性价比高，常规酸碱镀液通用。

三、核心结构与标配组成

1. 槽体智能溢流结构（核心）

双层溢流烧杯式腔体，依靠底部磁力转子搅动实现镀液自溢流循环，无需外接循环泵；镀液受热蒸发损耗时，溢流结构自动稳定电镀液面高度，电镀有效面积恒定、电流密度无波动，解决普通烧杯电镀液面下降造成膜厚偏差问题。

2. 阴极夹持系统

PEEK 绝缘夹具，侧边夹持样品、电镀面裸露；可选单面电镀 / 简易双面电镀两种装配方式，夹具快速拆装，更换试样 30 秒完成。

  • 500mL 标配：10×15mm 标准夹头

  • 1000mL 标配：10×15mm+30×30mm 双规格夹头

3. 阳极组件

上下 / 左右可调式阳极挂架，适配钛网、铂网、磷铜钛篮、镍板阳极，可灵活调整阴阳极间距，用来测试电流密度、镀液分散能力。

4. 温控配套（选配成套）

  1. 外置数显恒温磁力搅拌器：0~1500rpm 调速，控温室温～95℃，G 玻璃槽可直接高温加热；

  2. 可选 YTC 精密温控 + 浸入式 PFA 加热棒，精准控温 ±0.5℃；

5. 配套电源

适配山本 YPP 系列直流 / 脉冲精密电镀电源，小电流 0.01A 起调，适配 UBM、微凸点超薄镀层试验。

四、五大产品优势

  1. 智能恒液面设计：自溢流循环，蒸发不影响电镀面积，实验数据重复性远优于普通烧杯电镀，试验数据可对标量产 A-52-ST 大槽工艺；

  2. 超省药水： 500mL 起槽，金钯贵金属镀液研发大幅降低耗材成本，取样方便，配合 A01~A28 滴定试剂随时化验药水组分；

  3. 免泵一体化：磁力内置循环，无外接管路过滤器，桌面通风橱直接摆放，占地极小；

  4. 双材质选型灵活：亚克力通用常规铜镍金银镀，高硼硅玻璃适配高温、离子液体、强腐蚀特种电镀液；

  5. 通用性强：兼容 Si/SiC/GaN 晶圆切片、PCB 小片、金属基材，TSV 填孔、RDL、镍钯金 UBM 全工艺小样验证。

五、适用镀种 & 应用领域

电镀药水

酸性填孔铜、化学镍、钯镍、软 / 硬金、锡银微凸、镍钴合金。

终端客户

  1. 电镀药水厂商：新品添加剂评测、配方小试、药水稳定性测试；

  2. 半导体实验室：功率器件 SiC、MEMS、封测 UBM 制程前期打样；

  3. 高校微电子、材料学院电化学实验；

  4. 电镀厂量产前小试（A-52-ST 量产槽前置筛选设备）。

六、选配配件

  1. N₂氮气密封上盖（镀金 / 锡防氧化，隔绝空气）；

  2. 多规格非标夹具（50×50mm、圆形小晶圆片）；

  3. 微型在线 pH 监测探头；

  4. PVDF 防腐定制槽体（强酸氟化体系）。