USHIO牛尾 UXM 系列（深紫外短弧汞氙灯）
UXM 系列是日本牛尾（USHIO）的深紫外（Deep UV）短弧汞氙灯，主打230–320nm 高能量深紫外 + 365nm i-line 强线谱，用于半导体光刻、PCB 曝光、精密 UV 固化等工业制程，属于光源级核心部件（非照度计）。
USHIO牛尾 UXM 系列（深紫外短弧汞氙灯）
一、核心定位与光谱特点
二、主力型号与关键参数（200–5000W）
1. 标准功率（200–500W，常用）
UXM-200H AX：200W，寿命 1000h，通用深紫外 / 固化。
UXM-501MA：500W，i-line（365nm）强，半导体 / PCB 曝光主力，寿命 1000h。
UXM-501MD：500W，501MA 升级款，深紫外更强、稳定性更高，适配步进机。
UXM-Q256BY：250W 点光源，初始能量 4000mW/cm²，寿命 3000h，用于精密点固化（如 LCD / 光学元件）。
2. 大功率（1000–5000W，高产能 / 大尺寸）
UXM-1001MD：1000W，大面积 / 高速曝光。
UXM-2004MD：2000W，大面板 / 高功率密度制程。
UXM-5000MA：5000W，超大产能 / 特殊深紫外应用。
3. 关键参数对比（典型值）
| 型号 | 功率 | 寿命 | 核心波长 | 典型应用 |
|---|
| UXM-200H AX | 200W | 1000h | 254/365nm | 小型固化 / 实验室 |
| UXM-501MA | 500W | 1000h | 365nm（i-line） | 半导体 / PCB 曝光 |
| UXM-501MD | 500W | 1000h | 230–320nm+365nm | 光刻 / 精密加工 |
| UXM-Q256BY | 250W | 3000h | 365nm（点光源） | 光学元件 / 点固化 |
三、典型应用场景
半导体光刻（核心）：8/12 英寸晶圆步进机 / 曝光机，365nm i-line 曝光，线宽 1–5μm，良率 > 99%。
PCB/FPC 制造：HDI 板、柔性板光刻，深紫外穿透干膜 / 油墨，边缘清晰无侧蚀。
精密 UV 固化：光学镜头、LCD/OLED、芯片封装 UV 胶固化，低温无热变形。
MEMS / 传感器：微结构光刻、生物传感器图案化，深紫外激活光敏材料。