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TOKYOKEISO东京计装超微小流量热式质量流量
产品型号：TH-1400
产品品牌：Tokyo keiso​东京计装
产品介绍：

TOKYOKEISO东京计装超微小流量热式质量流量诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

TOKYOKEISO东京计装超微小流量热式质量流量TOKYOKEISO东京计装超微小流量热式质量流量

TOKYO KEISO 東京計装 TH 系列

超微小流量热式质量流量控制器 MFC / 流量计 MFM

TH 系列是东京计装专为极微小气体流量开发的专用系列，是 HM、TF 覆盖不到的超微量区间主力型号，多用于 SiC、第三代半导体、MEMS、精密分析仪器，控制 ＜5 sccm 级极微流量工艺气体。

一、测量原理

热扩散式质量流量测量，直接测质量流量，不受压力、温度波动影响，内置精密电磁阀做 PID 闭环控制。

二、主要型号

  • TH‑1100

  • TH‑1200

  • TH‑1400

  • TH‑1600

量程范围：0.1 ~ 5 sccm（超微小流量区间，HM/TF 很难做到）

三、核心规格

  • 精度：±1% FS

  • 重复性：±0.2% FS

  • 响应时间：＜1 s

  • 耐压：0.5 MPa

  • 接液材质：SUS316L，可做 EP 电解抛光，适配 HCl、HI、微量卤素气体

  • 供电：DC24V

  • 信号：0–5V、4‑20mA、RS485 Modbus‑RTU

  • 接头：微型 VCR、微型卡套，适配半导体微管路

四、核心特点（对比 HM / TF）

  1. 超微小流量天花板

    做到 0.1 sccm 级，是东京计装气体 MFC 里*小流量系列，HM、TF 做不到这么小。

  2. 结构精密、死体积极小

    适合微量工艺气体、高洁净、低泄漏场景。

  3. 耐腐蚀版本可选

    SUS316L‑EP 可用于 HI、HCl 等强腐蚀微量气体控制。

  4. 体积紧凑，适配设备内置微小气路模块。

五、典型应用

  • SiC、第三代半导体外延、刻蚀、掺杂极微量工艺气体

  • 微量 HCl、HI、NF₃ 等腐蚀气体精准供给

  • MEMS、精密真空设备、气体分析仪器

  • 半导体工艺微量吹扫、微量反应气体控制