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Fujikin/富士金 背压阀（/ 压力溢流阀）
产品型号：FR-H2-9.52
产品品牌：Fujikin富士金
产品介绍：

Fujikin/富士金 背压阀（/ 压力溢流阀）诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

Fujikin/富士金 背压阀（/ 压力溢流阀）Fujikin/富士金 背压阀（/ 压力溢流阀）

一、基础信息

  • 型号：BR‑71‑6.35

  • 产品类型：背压阀（精密恒压阀 / 压力溢流阀）

  • 接口：6.35 mm（1/4" VCR）

  • 系列：71 系列 UHP 超高纯背压阀

  • 定位：半导体气路管路恒压、超压溢流、压力保护、稳压控制，用于特气柜、MFC 后端、反应腔体、SiC/GaN 精密工艺

二、型号含义

  • BR：Back Pressure Regulator 背压阀

  • 71：71 标准阀体，VCR 接口、低死区、EP 电解抛光，UHP 洁净结构

  • 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4" VCR）

三、核心结构特点

  1. 膜片式背压控制结构，维持上游管路恒定压力，压力过高自动泄压溢流

  2. 全金属接液，低死区、低发尘、低金属析出，适配超高纯 / 腐蚀性气体

  3. 哈氏合金膜片，耐 HCl、HI、HF、WF₆等强腐蚀特气

  4. 可稳定维持管路压力，保护腔体、MFC、传感器不超压

  5. 顶部旋钮可精准设定压力，带锁紧结构，防止误调

四、接液部材质

  • 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

  • 膜片：哈氏合金 C‑22

  • 阀芯 / 阀座：SUS316L + PCTFE 软密封

  • 接口：1/4" VCR 公母头

五、关键技术参数

  • *大耐压：1.0 MPa

  • 设定压力范围：常规 0–0.4 MPa（可定制量程）

  • 稳压控制精度：±1% FS

  • 适用温度：‑10℃～+80℃

  • 泄漏等级：阀座零泄漏，外漏极低

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

N₂、Ar、He、H₂、O₂、HCl、HI、HF、WF₆、SiH₄、NF₃等高纯 / 腐蚀性特气

典型应用

  1. CVD、刻蚀、ALD 设备腔体上游恒压控制

  2. MFC 后端稳压、防止压力波动影响流量精度

  3. 特气柜支路超压保护、溢流泄压

  4. SiC/GaN 第三代半导体精密工艺管路恒压