一、基础信息

• 型号：FUCL‑9100‑6.35‑0.1

• 产品类型：9100 系列 高压型固定孔板限流阀（流量限制器）

• 接口通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：高压工况专用、固定流量节流，用于高压氢气、高压特气、半导体高压管路限流、吹扫稳流、保护后端元件

二、型号含义

• FUCL：Fixed Orifice Choke 固定孔板限流元件

• 9100：9100高压系列阀体，耐压等级远高于常规 715 系列

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4" VCR）

• 0.1：限流孔径 0.1 mm，小流量固定节流规格

三、核心结构特点

1. 高压加厚阀体结构，专为高压 / 高压氢气工况设计，抗氢脆、抗高压冲击

2. 硬质合金精密微孔，孔径固定，流量恒定、不可调节、免维护

3. 无活动部件，零泄漏风险、超长寿命

4. 低死区、UHP 超高纯洁净设计，低颗粒、低金属析出

5. 适配强腐蚀气体，可用于 HCl、HI、HF、WF₆等特气

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L 高压级不锈钢，EP 电解抛光，可选 UP 超抛光

• 限流孔板：碳化钨硬质合金，耐磨、耐化学腐蚀、尺寸稳定

• 密封：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 高压型接头

五、关键技术参数

• 限流孔径：0.1 mm

• *高工作压力：20.5 MPa（205 bar）

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 流量特性：固定压差下输出恒定流量

• 流向：按阀体箭头单向安装

• 适用：高压氢气、高压高纯 / 腐蚀性气体

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. 半导体高压氢气管路限流、稳流吹扫

2. SiC/GaN 第三代半导体高压工艺气路

3. 高压特气柜、大宗高压气体流量限制

4. 保护后端 MFC、阀门、传感器免受高压冲击