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Fujikin/富士金 气动波纹管密封隔膜阀
产品型号：FPR-BW-71-6.35-PA
产品品牌：Fujikin富士金
产品介绍：

Fujikin/富士金 气动波纹管密封隔膜阀诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

Fujikin/富士金 气动波纹管密封隔膜阀Fujikin/富士金 气动波纹管密封隔膜阀

一、基础信息

  • 型号：FPR‑BW‑71‑6.35‑PA

  • 产品类型：气动波纹管密封隔膜阀（气动波纹管阀）

  • 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

  • 所属系列：71 系列高纯波纹管气动阀

  • 定位：超高纯、零外泄漏、高危特气自动化控制，用于自燃、剧毒、强腐蚀气体、半导体特气柜、SiC/GaN 优良制程

二、型号含义

  • FPR：FUJIKIN Pneumatic 气动阀

  • BW：Bellows 波纹管密封结构

  • 71：标准阀体，VCR 接口，EP 电解抛光

  • 6.35：接管口径 6.35 mm

  • PA：Pneumatic Actuator 标准气动执行器

三、核心结构与优势

  1. 金属波纹管动密封，无填料，真正零外泄漏，**等级远高于普通气动隔膜阀

  2. 波纹管隔绝阀杆与介质，杜绝介质外泄，适配硅烷、磷烷、砷烷、HI、HCl 等高危气体

  3. 低死区、流道洁净，气置换性能优异，低发尘、低金属析出

  4. 气动自动控制，适配 PLC / 电磁阀远程开关，自动化气路专用

  5. 抗真空、耐压差，负压‑正压切换稳定

四、接液部材质

  • 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

  • 波纹管：哈氏合金 C‑22，耐氢脆、耐卤素、耐强腐蚀

  • 阀座：PCTFE

  • 接口：1/4" VCR 公头

五、关键技术参数

  • *高使用压力：1.0 MPa

  • 适用温度：‑10℃～+80℃

  • Cv 值：0.32（氮气，20℃）

  • 泄漏：阀座零泄漏；外漏 ≤1×10⁻¹² Pa・m³/s

  • 控制气源压力：0.4–0.6 MPa

  • 开关寿命：≥100 万次

  • 动作形式：默认常闭 NC（通气开启，断气关闭）

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

SiH₄、PH₃、AsH₃、HCl、HI、HF、WF₆、NF₃、Cl₂、H₂、O₂、N₂、Ar
自燃、剧毒、强腐蚀、超高纯气体

典型应用

  1. 半导体特气柜高危气体自动隔离阀

  2. CVD、刻蚀、ALD 设备高危气体自动化管路

  3. 高真空系统、检漏系统自动控制

  4. SiC/GaN 第三代半导体严苛工艺