产品类目
Fujikin/富士金 高压金属波纹管阀
产品型号:FUJ-9100-9.52
产品品牌:Fujikin富士金
产品介绍:

Fujikin/富士金 高压金属波纹管阀诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

详细介绍

Fujikin/富士金 高压金属波纹管阀Fujikin/富士金 高压金属波纹管阀

一、基础信息

  • 型号:UFL‑7100‑6.35

  • 系列7100 系列 高压金属波纹管阀(超高压力・零泄漏)

  • 驱动方式手动

  • 通径:6.35 mm(1/4" VCR)

  • 定位超高压氢气、高压特种气体、易燃易爆 / 剧毒气体、半导体高压特气柜、氢能设备专用阀

二、型号代码释义

  • UFL:Ultra‑high pressure Bellows Valve 超高压波纹管手动阀

  • 7100:7100 高压系列,耐压等级远高于常规 71 系列

  • 6.35:接管口径 6.35 mm(1/4 英寸)

三、核心结构特点

  1. 全金属波纹管焊接密封零外泄漏,无填料、无泄漏隐患,适合 H₂高压场景

  2. 阀体加厚高压锻造结构,耐压能力强

  3. 死区小、流道洁净,低颗粒析出,满足半导体超高纯要求

  4. 耐高压、耐氢脆、耐强腐蚀,适配高压氢气、HCl、HI 等高危气体

四、接液部材质

  • 阀体:SUS316L 高压级不锈钢,EP 电解抛光

  • 波纹管:哈氏合金 / 镍基合金,抗氢脆、抗疲劳、耐腐蚀

  • 阀座:PCTFE

  • 接口:1/4" VCR 高压型公头

五、关键技术参数

  • *高使用压力:20.5 MPa(205 bar)(常规阀仅 1 MPa)

  • 流体温度:‑10℃~+80℃

  • Cv 值:0.28(氮气,20℃)

  • 泄漏性能:

    • 阀座:零泄漏

    • 外漏:≤1×10⁻¹² Pa・m³/s(氦检)

  • 操作:手动旋转启闭,带高压**结构

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

高压氢气 H₂、氦气、氮气、Ar、HCl、HI、HF、WF₆、SiH₄、NF₃、Cl₂
高压、自燃、剧毒、强腐蚀特气

典型应用

  1. 半导体高压氢气供给、SiC/GaN 高压工艺

  2. 氢能设备、高压储氢管路、加氢测试系统

  3. 高压特气柜、大宗高压气体控制系统

  4. 高真空 + 高压切换工况