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Fujikin/富士金 波纹管密封式高纯手动阀
产品型号：FUDF-916G-9.52
产品品牌：Fujikin富士金
产品介绍：

Fujikin/富士金 波纹管密封式高纯手动阀诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

Fujikin/富士金 波纹管密封式高纯手动阀Fujikin/富士金 波纹管密封式高纯手动阀

一、基础信息

  • 型号：FUBFL‑71‑6.35

  • 产品类型：手动式金属波纹管阀（Bellows Valve）

  • 接口：6.35 mm（1/4" VCR）

  • 所属系列：富士金 71 系列高纯波纹管阀

  • 定位：超高纯、零外泄漏、高危特气专用阀，用于自燃、剧毒、强腐蚀、高真空半导体气路

二、型号含义

  • FUBFL：FUJIKIN Bellows Valve 手动波纹管阀

  • 71：阀体规格，VCR 接口，EP 电解抛光处理

  • 6.35：接管通径 6.35 mm（1/4 英寸）

三、核心结构与优势

  1. 金属波纹管全密封结构

    阀杆与阀体之间采用哈氏合金波纹管焊接密封，无填料、无外漏通道，外泄漏等级远优于隔膜阀。

  2. 死区小、流道洁净，气体置换性能好，低发尘。

  3. 抗真空、耐压差能力强，适合高真空、负压‑正压切换工况。

  4. **性高，专为硅烷、磷烷、砷烷、HI、HCl 等高危气体设计。

四、接液部材质

  • 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25 μm，可选 UP 超抛光

  • 波纹管：哈氏合金 C‑22，耐强酸、卤素、腐蚀性特气

  • 阀座：PCTFE

  • 接口：1/4" VCR 公头

五、技术参数

  • *高使用压力：1.0 MPa

  • 适用温度：‑10℃ ～ +80℃

  • Cv 值：0.32（氮气，20℃）

  • 阀座泄漏：零泄漏

  • 外部泄漏：≤1×10⁻¹² Pa・m³/s（氦质谱检漏）

  • 可用于高真空环境

  • 操作方式：手动旋转启闭

六、适用介质与应用

适用气体

硅烷 SiH₄、磷烷 PH₃、砷烷 AsH₃、HCl、HI、HF、WF₆、NF₃、Cl₂、H₂、O₂、N₂、Ar 等自燃、剧毒、强腐蚀、超高纯气体

应用场景

  1. 半导体特气柜高危气体隔离阀

  2. CVD、刻蚀设备自燃性气体管路

  3. 高真空系统、检漏系统

  4. SiC/GaN 第三代半导体严苛工艺气路