型号:FWB‑71‑6.35‑2
系列:NEW‑MEGA 低压型手动隔膜阀
驱动方式:手动
接口:6.35 mm(1/4" VCR)
用途:真空、低压气体、吹扫管路、超纯水、半导体低压气路
FWB:低压专用手动隔膜阀(Weak‑pressure type)
71:NEW‑MEGA 阀体,VCR 接口,EP 电解抛光
6.35:接管通径 1/4"
2:标准流量规格
专为低压、真空工况优化,弹簧预紧力更小,低压下开关更顺畅
零死区结构,气置换优异,低发尘、超洁净
金属隔膜密封,氦检漏等级与 NEW‑MEGA 标准型一致
结构紧凑,适合气体面板密集布局
阀体:SUS316L,EP 电解抛光 Ra≤0.25μm
隔膜:镍‑钴合金,耐 HCl、HI、HF、WF₆等强腐蚀特气
阀座:PCTFE
接口:1/4" VCR 公头
*高工作压力:0.7 MPa(标准 NEW‑MEGA 为 1.0 MPa)
适用温度:‑10℃~+80℃
Cv 值:0.35(N₂,20℃)
泄漏:阀座零泄漏;外漏 ≤5×10⁻¹² Pa・m³/s
可耐受真空环境
操作:手动旋转启闭
真空管路隔离、真空腔体前端阀
低压吹扫、泄压、废气排放回路
超纯水、低压高纯 / 腐蚀性气体
半导体、面板、光伏低压辅助气路