超小型紧凑结构:阀体体积极小,适合设备内部狭小空间、歧管集成安装
隔膜式零泄漏:执行器与流体隔离,无金属接触介质,杜绝金属离子污染
全氟接液材质:阀体 PFA、隔膜 PTFE,耐 HI 碘化氢、HCl 氯化氢、HF 、强酸强碱、光刻胶、超纯水
气动驱动:标准 0.4–0.6MPa 气源驱动,开关响应快,适配自动化时序控制
双向流通,耐疲劳,适合高频次通断
SAM‑06、SAM‑08、SAM‑10、SAM‑15
驱动方式:气动(标准 0.4~0.6MPa)
流体压力:0~0.5MPa
使用温度:0~80℃(高温可定制 HT 型)
接液材质:PFA 阀体 + PTFE 隔膜
密封形式:隔膜零泄漏密封
适用流体:超纯水、蚀刻液、清洗液、高纯化学品、强腐蚀微量流体
SAM 系列:微型款
体积小、通径小、流量小 → 用于分支管路、取样回路、微型供液、设备狭小空间
SAV 系列:标准款
通径大、流量大 → 用于主管路、大流量药液输送、主供液系统
半导体:SiC 碳化硅刻蚀 / 清洗、微量药液供给、高纯气体控制、取样阀
分析仪器:化学试剂切换、微量流体通断
医疗设备:高纯试剂、无金属污染管路
面板 / 光伏:微型化学品管路控制