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TORAY东丽 氧化锆多点氧分析仪
产品型号：MS-500/MS-510/SD
产品品牌：TORAY东丽浓度计
产品介绍：

TORAY东丽 氧化锆多点氧分析仪诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

TORAY东丽 氧化锆多点氧分析仪
TORAY东丽 氧化锆多点氧分析仪
东丽 TORAY MS-500/MS-510/SD 氧化锆多点氧分析仪

（多点氧浓度计）
MS-500/MS-510/SD是日本东丽（TORAY）的分体式、*多 8 点同步测量氧化锆氧分析仪，由 MS-500 控制器 + MS-510 转换器 + SD 直插传感器 组成，主打真空 / 惰性气氛下多点、高精度、ppb 级氧监测，广泛用于半导体、真空炉、多腔体设备等需同时监控多个点位的场景。

一、测量原理

采用氧化锆浓差电池原理：高温氧化锆电解质在两侧氧分压不同时产生对应电压，转换器将电压换算为氧浓度 / 氧分压，实现从ppb 微量氧到 100% 纯氧的线性测量。

二、核心特点

  1. *多 8 点同步测量，大幅降低多点监测成本

  • 1 台 MS-500 控制器可连接1～8 套（MS-510+SD 传感器），同时显示 / 输出各点氧浓度。

  • 各测点独立，互不干扰，适合多腔体、多管道、多工位同步监控。

  1. 分体式直插设计，适配真空与狭小空间

  • SD 传感器：直插真空腔 / 管道，无需采样系统；接口为NW16/NW25/NW40 真空法兰（型号 SD16NW/SD25NW/SD40NW）。

  • MS-510 转换器：壁挂 / 就近安装，标准 2 米线缆（*长 10 米）连接传感器与 MS-500 控制器。

  1. 超宽量程 + 高精度，ppb 级稳定测量

  • 测量范围：0.001ppm（ppb）～100vol% O₂；氧分压显示 10⁻²⁰～10⁰ atm，自动量程切换。

  • 重复性：

    • ≥1% 量程：±0.5%FS

    • ＜1% 量程：±1.0% FS 或 ±0.1ppm（取大值）

  1. 超快响应 + 高耐用性

  • 预热≤6 分钟；响应时间 **≤1 秒（传感器）**。

  • 传感器特殊抗污染涂层 + 内置保护机制，抗粉尘 / 轻微腐蚀，寿命优于传统型号。

  1. 精简输出，易集成

  • 标配 RS-232C（D-sub 9 针），可选LAN 以太网输出，适配 PLC / 上位机系统。

三、技术参数（总览）

项目规格
型号控制器：MS-500；转换器：MS-510；传感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW
测量点数1～8 点（每点 1 套 MS-510+SD）
测量原理氧化锆浓差电池
测量范围0.001ppm～100vol% O₂；10⁻²⁰～10⁰ atm
重复性≥1%：±0.5% FS；＜1%：±1.0% FS 或 ±0.1ppm（取大）
响应时间≤1 秒（传感器）
预热时间≤6 分钟
样气压力10⁻³ Pa～200 kPa（绝压）
传感器接口NW16/NW25/NW40 真空法兰
连接线缆标准 2 米（*长 10 米）
通信输出RS-232C；可选 LAN
供电DC24V（MS-500：0.3A；MS-510：2A）
尺寸 / 重量MS-500：92×44×120mm，0.6kg；MS-510：185×155×40mm，1.2kg；SD 传感器：约 100mm 长，0.5kg

四、典型应用

  • 半导体：多腔真空镀膜、溅射、刻蚀设备多点氧监控。

  • 真空设备：多室真空炉、退火炉、密封腔体同步检测。

  • 惰性气氛：大型手套箱、多工位焊接保护气、金属 3D 打印阵列舱。

  • 工业自动化：需多点氧浓度监控的批量生产设备，节省空间与成本。